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FET형 용존산소 센서 어레이 측정시스템
A Dissolved Oxygen Measurement System Using FET-type Dissolved Oxygen Sensor Array 원문보기

센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society, v.10 no.4, 2001년, pp.259 - 265  

정훈 (경북대학교 센서공학과) ,  손병기 (경북대학교 전자전기공학부)

초록
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FET형 용존산소 센서는 pH-ISFET를 기본 소자로하여 pH 감지 게이트 근처에 백금으로 된 작업 전극을 형성한 구조를 가지고 있다. 작업전극에 특정한 전위를 인가하면 전기분해로 인하여 용존산소의 농도에 비례하는 수소 이온이 pH 감지 게이트 주변에 발생된다. 따라서 pH-ISFET를 통하여 수소 이온 농도의 변화량을 검출하면 용존산소의 농도를 측정할 수 있게된다. 본 논문에서는 이러한 FET형 용존산소 센서를 어레이 형태로 제작하여 적용하고 측정의 신뢰성을 높이기 위한 알고리즘을 도입한 FET형 용존산소 센서 어레이 측정 시스템을 개발하였다. 또한 상용 용존산소 측정기와 그 성능을 비교 분석하였다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

FET-type dissolved oxygen sensor has the Pt working electrode around the pH-ISFET. Appling a voltage to the working electrode, the hydrogen ion which is proportional to the dissolved oxygen concentration occurs around the pH sensing gate and we can measure the dissolved oxygen concentration by detec...

AI 본문요약
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문제 정의

  • 이러한 반도체 능동소자를 바탕으로 한 첨단 센서인 FET형 용존산소센서는 Clark형 센서[1,2]와 달리 가스투과막이 없고 전위차법으로 용존산소 농도에 비례하여 선형적으로 pH변화를 감지함으로서 용존산소의 농도를 측정할 수 있다. 본 연구에서는 FET형 용존산소 센서에 적합한 측정시스템을 구현함에 중점을 두었으며 6 채널의 어레이 형태의 구조를 갖는 센서 가운데 신뢰성이 낮은 센서를 제외시키는 루틴을 가진 소프트웨어 및 측정시스템을 개발하여 신뢰성을 향상시켰다.
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