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NTIS 바로가기한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.18 no.8 = no.125, 2001년, pp.11 - 17
김종성 (발저스 한국코팅(유))
Industrial use of physical vapor deposition(PVD) has been widely expanded during last two decades, and in the mean time plasma assistance in PVD has become an essential tool in preparing compound films with dense microstructure. The principles of electron beam-based plating, balanced and unbalanced ...
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