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문제 정의
- HFRW 공정에서 표피효과 및 근접효과를 고려한 전류 밀도, 전자기력 및 유동 해석 방법에 관하여 개괄적으로 기술하였다. 본 특집에서 소개한 해석방법은 매우 복잡한 것처럼 보이지만, 실제 HFRW 공정에서 발생하는 현상을 단순화시켜 해석한 것이다.
- 공정 중에 발생하는 현상에 대한 해석5)은 상당히 미흡한 것으로 생각된다. 본 특집에서는 HFRW의 중요한 요소인 표피효과(skin effect)와 근접효과(proximity effect)를 고려한 해석 방법에 대하여 기술하였으며 , 복잡한 수식과 수치해석 기법에 관한 내용은 가급적 생략 하였다.
- HFRW의 해석하려면 표피효과와 근접효과에 의해 집중되는 전류 밀도 분포를 계산하여야 하며, 이를 이용하여 열 유동 해석을 수행하여야 한다. 여기에서는 표피효과와 근접효과를 고려하여 전류 밀도를 계산하는 방법과 유동 해석 방법을 설명하고, 이를 이용하여 침입 결함(penetrator)의 발생 기구에 관한 해석 결과를 제시하고자 한다.
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