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NTIS 바로가기韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.10 no.2, 2001년, pp.201 - 206
박용범 (순천대학교 재료금속공학과) , 임태흥 (생산기술연구원)
The evolution of textures in Fe-Ni alloy thin films fabricated by PVD using a sputtering method was investigated with parameters such as deposition time and chemical composition. The textures of the as-deposited films were characterized by fibre-type. In Invar alloy(Fe-36.5 wt%Ni) thin film, the //N...
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