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Clean Stocker내 새로운 방식의 기류제어에 관한 해석
Analysis of New Air Control System in Clean Stocker 원문보기

大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers. A. A, v.26 no.1 = no.196, 2002년, pp.121 - 130  

최기한 (경북대학교 기계공학과) ,  한창우 (경북대학교 기계공학과) ,  이상룡

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Clean stockers are being used by semiconductor and TFT-LCD manufacturers to store and buffer work in process. Since an important function of a stocker is to keep the contained material clean. The only way to keep the stored product clean is to provide constant clean airflow the product and through s...

주제어

AI 본문요약
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* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

  • 본 논문에서는 이러한 문제점을 해결하기 위하여 새로운 방식의 스토커 내부 청정유지방식을 제시한다. 새로운 개념의 청정유지방식은 크린룸의 천장게서 스토커 측면으로 유입된 청정공기가 스토커의 측면에 설치된 개구율(Open Ratios)의 조절이 가능한 다공의 유출구(Exit)를 통과하여 스토커 내부의 상부와 하부의 선반위치별로 동일한 양의 청정공기를 공급하는 방식이다.
  • 본 논문은 Fig. 2와 같이 측면 유출구를 통하여 스토커 내로 공기가 유입될 때 최적의 공기 유동 특성을 가지기 위한 측면 유출구 유출풍량 Qt~ Q7을 동일하게 유지하기 위하여 개구율 해석에 중점을 두고 있다.

가설 설정

  • /)2는 们에 비하여 동압의 차만큼 크게 된다. 따라서 동압차를 고려한 정압계산식을 수립할 수 있다.
  • 2의 주어진 조건으로 구하면 Table 2와 같다. 스토커의 측면 공기통로를 흐르는 풍량0 은 전체풍량。0의 0.9로 상부유출구에서 유출되는 풍량은 Qo의 0J 로 가정한다.
  • 이 회복한 정압을 2구간의 압력손실에 사용해서 설계한다면, 1구간의 끝나는 부분과 2구간의 끝4는 부분의 정압은 변화하지 않을 것이다. 따라7'- 유체이동거리에 대하여 풍속을 저하시킨다면 덕트 내부의 정압 유지가 가능할 것이다. 그러나 실제는 전환 시 손실이 동반되기 때문에 전부 회복하지 않고 0.
  • 스토커 측면의 공기통로는 Fig. 4와 같이 직관 덕트 부로 가정한다. 각 지점 부의 저항은 Table 3과 같이 미소하므로 무시한다叩
  • 또한 스토커의 측면 공기 통로 내의 압력 변화는 정압재취득의 값이 제일 큰 요소가 되기 때문에 이 값을 해석해서 측면 유출구 유출풍량 Qi, ~ Qi을 동일하게 유지하기 위한 개구율을 해석한다. 풍량 @8은 스토커 내 상부의 와류를 방지하는 것만큼의 공기를 유출한다고 고려하고 전체 풍량의 10% 정도로 가정하였다.
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참고문헌 (10)

  1. 이재헌, 1998, '다수의 출구를 가지는 크린룸 내부의 기류분포에 관한 연구,' 공기조화냉동공학논문집, 제17권, 제4호, pp. 418-425 

  2. Eric, C., Duane, P., 1996, 'Standard Stocker Environmental Characterization Method,' Technology Transfer #96103192A-ENG. SEMATECH, pp. 2-11 

  3. DAIFUKU(株), 2001, Clean Stocker 자료 

  4. Fundamentals, Asharae. 1989, ashrae Hand Book 

  5. 井上宇市, 1998, '空氣調和 HANDBOOK,' pp. 385-396 

  6. Blue Ridge, 1998, Blue Ridge Numerics Software Reference Manuals 

  7. 이광수, 1998, 'Clean Room내 기류의 제어 및 해석,' 공기조화냉동공학논문집, 제17권, 제3호, pp. 217-223 

  8. 이재헌, 박명식, 1993, '부분적인 필터교체에 따른 청정실내부의 유동특성,' 대한기계학회논문집, 제14권, 제2호, pp. 2110-2121 

  9. 오명도, 임학규, 배귀남, 1990, '초청정 클린룸 난류유동장내에서의 오염입자 비정상 전파거동에 관한 연구,' 대한기계학회논문집, 제14권, 제2호, pp. 430-439 

  10. Ron B., Patricia B., 1995, 'Summary of Material Logistics in Semiconductor Manufacturing, Technology Transfer #95052811A-ENG SEMATECH, pp. 14-20 

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