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제안 방법
- 그림 7에 SPM에 의해 얻은 데이터 영상들로서, 실리콘 (111) 표면의 원자 배열(STM), 다결정 실리콘의 입계 모양(AFM), 컴퓨터용 하드 디스크의 자기 분포(MFM). 그리고 반도체 회로의 도핑 프로파일(SCM)을 예시하였다.
- 그림 5에 패터닝-식각-나노 필라 가공-증착 후 식각 과정을 통하여 제조된 나노 주입기 , 산화막 패터닝 . 측면 방향으로 의 결정 의존성 식각과 실리사이드 식각 장벽을 이용한 선택 적 식각에 의해 제조된 나노 도선 및 나노 프루브, 그리고 CNT의 선택적 성장 공정을 이용한 나노 튜브 탐침의 모양을 예시하였다. 이와 같은 반도체의 나노 머시닝은 나노 패터닝 기술을 비롯하여, 선택적 측면 습식 식각.
대상 데이터
- PCB(Printed Circuit Board)어) 홀을 가공하기 위하여 사용되는 마이크로 드릴 팁에 WC와 VC 나노 분말을 이용하여 강도를 한층 강화시킨 경우, 세라믹 나노 입자들을 사용하여 정교하고 우수한 내구성을 지니도록 제조된 모형들, 그리고 나노 합성물로 이루어진 내열성 플라스틱 제품들을 선보였다.
- 그림 2. 나노 소재를 활용한 제품군의 일례.
- 이러한 피라미드의 폭은 10nm, 높이는 L5nm로서 게르마늄 원자의 수와 실리콘 표면 특성과의 상관 관계, 즉 증착되는 층과 기판간의 격자 부정합으로 따른 응력으로 인하여 자기 조립(Self-assembly) 과정을 거쳐 자발적으로 형성되며 , 양자점(Quantum dot)으로 동작할 수 있다. 이와 함께, 48개의 철 원자들로 이루어진 양자 우리(Quantum corral) 구조를 함께 보였는데, 이들로 구성된 원 의 직경은 7.3nm에 불과하다. 하부 기판은 구리이며, 표면에 존재하는 전자들의 무리.
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