[논문]전달함수를 이용한 유정압테이블 운동정밀도 해석법의 실험적 검증

오윤진; 박천홍; 이찬홍; 홍준희

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전달함수를 이용한 유정압테이블 운동정밀도 해석법의 실험적 검증
Experimental Verification on Motion Error Analysis Method of Hydrostatic Tables Using Transfer Function 원문보기

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.19 no.5 = no.134, 2002년, pp.64 - 71

오윤진 (충남대학교 대학원) , 박천홍 (한국기계연구원 자동화연구부 공작기계그룹) , 이찬홍 (한국기계연구원 자동화연구부 공작기계그룹) , 홍준희 (충남대학교 기계공학과)

Abstract ▼ AI-Helper

A new model utilizing a transfer function was proposed in the previous paper fur analizing motion errors of hydrostatic tables. Validity of the proposed method was theoretically verified as the calculated motion errors were compared with the results by conventional multi pad method. In this paper, relationship between form error of rail and motion errors of hydrostatic table is analized theoretically in order to comprehand so-called ‘averaging effect of oil film’. Experiments on the motion errors of hydrostatic table is conducted with 3 different rails, and the results are compared with the results calculated by Transfer Function Method. The results show good agreement. From the results, it is verified that TFM is very effective to analize the motion errors of hydrostatic table.

주제어

참고문헌 (4)

박천홍, 정재훈, 이후상, 김수태, 'FEM 을 이용한 유정압테이블의 운동정밀도해석(1. 단면지지형 테이블의 해석 및 실험적 검증),' 한국정밀공학회지, 제 17 권, 제 12 호, pp. 137-144, 2000

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박천홍, 이후상, 김태형, 김민기, 'FEM 을 이용한 유정압테이블의 운동정밀도해석(2. 양면지지형 테이블의 해석 및 실험적 검증),' 한국정밀공학회지, 제 19 권, 제 1 호, pp. 65-70, 2002

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박천홍, 오윤진, 이찬홍, 홍준희, '전달함수를 이용한 유정압테이블 운동정밀도 해석법의 제안 및 이론적 검증,' 한국정밀공학회지, 제 19 권 제 5 호, pp. 56-63, 2002

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박천홍, 정재훈, 이후상, 김수태, '서브미크론 가공진직도 측정장치 개발,' 한국정밀공학회지, 제 17 권, 제 5 호, pp. 124-130, 2000

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저자의 다른 논문 :

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