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NTIS 바로가기한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology, v.12 no.2, 2002년, pp.101 - 109
박진호 (영남대학교 응용화학공학부) , 이준호 (영남대학교 응용화학공학부) , 신희섭 (영남대학교 응용화학공학부) , 김유택 (경남대학교 첨단산업공학부)
A complex chemical equilibrium analysis was performed to study the hot-wall CVD process of the SiC/C functionally gradient materials (FGM). Thermochemical calculations of the Si-C-H-Cl system were carried out, and the effects of process variables(deposition temperature, reactor pressure, C/[Si+C] an...
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