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NTIS 바로가기기계저널 : 大韓機械學會誌, v.42 no.6 = no.259, 2002년, pp.59 - 63
박순섭 (전자부품연구원 마이크로 머신 연구센터) , 정석원 (전자부품연구원 마이크로머신 연구센터) , 조진우 (전자부품연구원 마이크로머신 연구센터, 전임연구원) , 제태진 (한국기계연구원 정밀가공 그룹)
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