[논문]마찰구동기구로 구동되는 초정밀 이송계의 특성 평가

송창규; 신영재; 이후상

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마찰구동기구로 구동되는 초정밀 이송계의 특성 평가
Performance Assessment for Feeding System of Ultraprecision Machine Tool Driven by friction Drive 원문보기

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.19 no.7 = no.136, 2002년, pp.64 - 70

송창규 (한국기계연구원 지능형정밀기계연구부) , 신영재 (한국기계연구원 지능형정밀기계연구부) , 이후상 (한국기계연구원 지능형정밀기계연구부)

Abstract ▼ AI-Helper

The positioning system fur the ultraprecision machine tool should have nanometer order of positioning resolution. For the purpose of achieving that resolution, various feed drive devices have been proposed and currently hydrostatic lead screw and friction drive are paid attention. It is reported that an angstrom resolution can be achieved by using twist-roller friction drive. So we have manufactured ultraprecision feeding system driven by the twist-roller friction drive and perform performance assessment for problem definition and solution finding. As a result, we found that the twist-roller friction drive is mechanically suitable for ultraprecision positioning but some considerations are needed to get higher resolution.

주제어

참고문헌 (6)

次世代の超精密加工技術編輯委員會, 次世代の超精密加工技術(下卷), 日本工業技術振興協會, pp. 247-248, 1994
박천홍, 정재훈, 김수태, 이후상, '서브미크론 진직도 측정장치 개발,' 한국정밀공학회지, 제17권 제5호, pp. 124-130, 2000

원문보기 상세보기
Y. Kami, M. Yabuya and T. Shimizu, 'Research and Development of an Ultraprecision Positioning System,' Nanotechnology, Vol. 6, pp. 127-134, 1995

상세보기
H. Mizumoto, K. Yamada and T. Shimizu, 'A Twist-Roller Friction Drive System for Nanometer Positioning,' Preceedings of the 7th IPES, Kobe, Japan, May, pp. 850-853, 1993
H. Mizumoto, M. Yabuya, T. Shimizu and Y.Kami, 'An Angstrom-positioning System Using a Twist-Roller Friction Drive,' Precision Engineering, Vol. 17, No. 1, pp. 57-62, 1995

상세보기
Oscar Pinkus and Beno Sternlicht, Theory of Hydrodynamic Lubrication, Chapter 3, McGraw-Hill Book Company, New York, 1961

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