최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.19 no.9 = no.138, 2002년, pp.151 - 156
장창수 (삼성테크원 정밀기기연구소) , 김영준 (삼성테크원 정밀기기연구소) , 김재옥 (삼성테크원 정밀기기연구소)
A new position correction method using four fiducials as reference points was developed and examined. It was aimed to calibrate nonlinear deformation by numerous error sources. A correlation for correction was derived from the geometric relationship between four fiducials and chip position. Compared...
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.