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NTIS 바로가기제어·자동화·시스템공학 논문지 = Journal of control, automation and systems engineering, v.8 no.9, 2002년, pp.812 - 817
This paper presents a development of high accuracy aligner and describes a method to find the orientation of a substantially circular disk shaped wafer with at least one flat region on an edge thereof. In the developed system, the wafer is spun one 360 degree turn on a chuck and the edge position is...
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박종현, '반도체 웨이퍼를 위한 얼라이너 개발' 한국과학재단 보고서 과제번호 931-1000-039-2, 1995
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