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NTIS 바로가기한국공작기계학회논문집 = Transactions of the Korean society of machine tool engineers, v.11 no.5, 2002년, pp.58 - 64
박창수 (경남대학교 대학원 기계공학과) , 김원일 (경남대학교 기계자동화공학부) , 왕덕현 (경남대학교 기계자동화공학부)
Mirror surface finish of Si-wafers has been achieved by rotary in-feed machining with cup-type wheels in ELID grinding. But the diameter of the workpiece is limited with the diameter of the grinding wheel in the in-feed machining method. In this study, some finding experiments by the rotary surface ...
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