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저진공게이지 종합특성 평가장치 개발
Development of characteristics evaluating system for low vacuum gauges 원문보기

韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.11 no.4, 2002년, pp.189 - 193  

홍승수 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ,  정광화 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ,  신용현 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ,  임인태 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ,  박근섭 (㈜한백) ,  정원호 (㈜한백)

초록
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진공기술기반구축사업의 진공 측정기기 평가장치 구축사업으로 저진공($10^{-1}$Pa~$10^{5}$ Pa)게이지 종합특성 평가장치를 설계제작하였다. 이 장치를 이용하여 열전도형 게이지의 정확도, 직선성, 반복성, 기체감도, 그리고 장기 안정성 등에 대한 특성 평가를 수행하였다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

We have developed a characteristics evaluating system for low vacuum gauges with a project of basis of vacuum technology construction. By using this system, we also performed a characteristics evaluation as to the accuracy, linearity, repeatability, gas sensitivity, and long-term stability of therma...

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