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[국내논문] 파릴렌 막이 증착된 봉입형 압력센서의 제작 및 그 특성
Fabrication and Characteristics of Parylene Coated Isolated Type Pressure Sensor 원문보기

電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체, v.40 no.2 = no.308, 2003년, pp.81 - 86  

김우정 (경북대학교 전자ㆍ전기공학부) ,  조용수 (경북대학교 전자ㆍ전기공학부) ,  김홍균 (경북대학교 전자ㆍ전기공학부) ,  최시영 (경북대학교 전자ㆍ전기공학부)

초록
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반도체형 압력센서를 이용하여 물이나 화학약품 매질의 압력을 측정하기 위해서는 센서를 보호하기 위한 패키징이 필요하다. 스테인레스 봉입형 압력센서는 SUS316으로 패키지 되어있으며 SUS316은 표면이 다량의 크롬과 니켈을 함유하고 있어 내부식성이 강하고 또한 인성 및 응접성이 양호하여 센서를 분리하는 박막으로 널리 사용된다. 그렇지만 SUS316은 강산과 강알칼리 용매에서는 급격히 부식된다. 따라서 내부식성이 우수한 파리렌 막을 SUS316의 표면에 2000A의 Cu막을 증착한 다음에 5㎛ 두께로 처리함으로써 내화학성이 우수한 압력센서를 제작할 수 있었다, 파리렌 막을 코팅하기 전에 봉입형 압력센서의 정확도는 ±0.5%FSO이었고, 코팅 후의 센서도 동일한 특성을 보여주었다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

To measure the pressure using semiconductor type pressure sensor in water or chemical solution, the sensor must be protected from the solution using proper packaging materials. stainless steel isolated type pressure sensor packaged with SUS316 can be widely used to measure the pressure in water or c...

주제어

#parylene coated stainless   #isolated type pressure sensor  

참고문헌 (7)

  1. W. G. Wolber and K. D. Wise, 'Sensor development in the microcomputer age', IEEE Trans. on Electron Devices, Vol. ED-26, No. 12, pp. 1864-1874, 1979 

  2. R. Jhonson and R. E. Higashi, 'A highly sensitivity silicon chip microtransducer for air flow and differential pressure sensing application', Sensors and Actuators, Vol. 11, pp. 63-72, 1987 

    상세보기 crossref

  3. K. M. Mahmoud, R. P. Van Kampen, M. J. Rutka and R. F. Wolffen buttel, 'A silicon integrated smart pressure sensor', Transducers' 93, pp. 217~220, 1993 

  4. 김우정, 조용수, 황정훈, 최시영, '스테인레스 봉입형 반도체 압력센서의 제작 및 그 특성' 센서학회지, 제11권 제3호, pp. 138-144, 2002 

    원문보기 상세보기 crossref

  5. Tak-Jin Moon, Tae-Oan Ahn, Jongkoo Jeong, and Chang Gyun Kang, 'Adhesion Phenomena at Polymer/Metal Interfaces', Polymer, Vol. 12, No. 7, pp. 642-651, 1988 

  6. Hyun Huh, Ju-Won Seo, Min-Su Kim, and Jae-kyung Pan, 'A study on deposition and characterization of low-k Parylene film', Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material, Vol, 12, No. 4, pp. 326-332, 1999 

  7. S. Petrovic, A. Ramirez, T. Maudie, D. Stanerson, J. Wertz, and G. Bitko, 'Reliability Test Methods for Media-Compatible Pressure Sensors', IEEE Transactions on Industrial Electronics, Vol. 45, No. 6, pp. 877-885, 1998 

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