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FCVA 방법으로 증착된 다이아몬드상 탄소 박막의 XPS 및 XRR 특성 연구
A Study on XPS and XRR Characteristics of DLC films Deposited by FCVA Method 원문보기

전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문, v.52 no.3, 2003년, pp.109 - 115  

박창균 (한양대 전자전기제어계측공학과) ,  장석모 (한양대 전자전기제어계측공학과) ,  엄현석 (한양대 전자전기제어계측공학과) ,  서수형 (한양대 무기재료공학과) ,  박진석 (한양대 전자컴퓨터공학부)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Diamond-like carbon (DLC) films are deposited at room temperature using a filtered cathodic vacuum arc (FCVA) technique. The influence of negative bias voltage (applied to the substrate from 0 to -250V) on the $sp^3$ hybridized carbon fraction is examined by Raman spectroscopy and x-ray p...

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문제 정의

  • 강도는 상대적으로 점차 감소하는 경향이 나타났음을 알 수 있다. 본 연구에서는 이와 같은 C Is 피크의 식각시간에 따른 변화로부터 박막의 깊 이 방향에 대한 sp:' 분율 분포를 산출하였다. (그림8 참조) 다음으로 그림7의 (b)는 Si 2p 피크가 식각이 수행되기 전 에는 Si 피크(99.
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참고문헌 (18)

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