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미세패턴용 구리도금시 초기 전착 거동 해석
Analysis of Initial Stage of Copper Electrodeposition for Fine Pattern 원문보기

전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문, v.52 no.4, 2003년, pp.164 - 168  

조차제 (LG 전선연구소) ,  최창희 (LG 전선연구소) ,  김상겸 (LG 전선연구소) ,  박대희 (원광대 전기전자 및 정보공학부)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

The initial stage of copper electrodeposition has been known to be very important role for morphology and physical properties after final growth. The factors affecting the nucleation are electrode, current density, electrolyte and temperature. Current studies has illuminated the initial nucleation...

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문제 정의

  • 따라서, 본 연구에서는 전기도금 공정 중 초기 핵생성과 성장에 미치는 음극 표면의 영향을 관찰하기 위해, 우선 전해 동박 생산 공정 중 금속 음극 표면 산화피막 변화에 주요 원인 을 찾아 실험조건을 결정하고, 전기화학 system에서 금속 표 면 산화피막 분석에 효과적인 임피던스(EIS) 분석법을 적용하여 표면 산화피막 변화를 정량화하였다. 또한, 초기 핵생성과 성장의 거동 관찰에 일반적으로 많이 적용되는 정전위 방법을 이용하여 표면 산화피막 변화에 따른 초기 핵생성 전류 밀 도를 비교하고 생성된 핵을 SEM으로 관찰하였다.
  • 본 연구에서는 흄 노출에 따른 Ti 표면 피막 변화가 핵생성과 성장에 어떤 영향을 주는지를 정량적으로 관찰하기 위해 음 극 분극 곡선 결과를 바탕으로 얻은 한계 전류밀도(limiting current density : ~800mV vs SCE)에서 30초 동안 정전위를 실시하였다.
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참고문헌 (12)

  1. Ye-Kun Lee, Thomas J. O'Keefe, 'Evaluating and Monitoring Nucleation and Growth in Copper Foil', JOM, Vol. 54, No. 4, p. 37, 2002 

  2. J.L.Delplancke, M.Sun, T.J. O'Keefe, R., 'Production of Thin Copper Foils on Microporous Titanium Oxide Substrates', Hydrometallurgy, Vol. 24, p. 179, 1990 

  3. Ye-Kun Lee, Thomas J. O'Keefe, '연구보고서'. LG전선, 2001 

  4. C.E. Yates, 'Electrodeposited copper foil for printed circuits', 1990 

  5. A. Dutra, T. O'Keefe, 'Copper nucleation on titaniom for thin film application', J. Appl. Electrochem., No. 29, p. 1217, 1999 

  6. M. Sun, T. O'Keefe, Metal. Trans. B. 'The effect of additives on the nucleation and growth of copper onto stainless steel cathodes', Vol. 23, No. 10, p. 591, 1992 

  7. T. J. O'KEEFE, L. R. HURST, 'The effect of antimony, chloride ion, and glue on copper electrorefining', J. Appl. Electrochem., Vol. 8, p. 109, 1978 

  8. T. B. Vaughan, H. J, Pick, 'The Structure of Electrodeposited copper;The Nucleation of copper electrodeposits on copper substates', Electrochemica Acta, Vol. 2, No. 1, p. 179, 1960 

  9. E.J. Kelly, 'Electrochemical Behavior of Titanium', Section 5, p.319, 1982 

  10. J.E.G Gonzalez, J.C. Mirza-Rosca, 'Study of corrosion behavior of Titanium and some of its alloys for biomedical and dental implant applications', Electrochemical Chemistry, Vol. 471, p. 109, 1999 

  11. D.A. Jones, 'Principles and Prevention of Corrosion', Macmillan Publishing co., p. 107, 1992 

  12. C. Gabrielli, 'Identification of Electrochemical Process by Frequency Response Analysis', Solartron Instrumental Group, p. 3, 1980 

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