[논문]하이브리드 증착 시스템에 의해 합성된 나노복합체 Ti-Al-Si-N 박막의 미세구조와 기계적 특성

박인욱; 최성룡; 김광호

[국내논문] 하이브리드 증착 시스템에 의해 합성된 나노복합체 Ti-Al-Si-N 박막의 미세구조와 기계적 특성
Microstructural and Mechanical Characterization of Nanocomposite Ti-Al-Si-N Films Prepared by a Hybrid Deposition System 원문보기

한국표면공학회지 = Journal of the Korean institute of surface engineering, v.36 no.2, 2003년, pp.109 - 115

박인욱 (부산대학교 재료공학부) , 최성룡 (부산대학교 재료공학부) , 김광호 (부산대학교 재료공학부)

Abstract ▼ AI-Helper

Quaternary Ti-Al-Si-N films were deposited on WC-Co substrates by a hybrid deposition system of arc ion plating (AIP) method for Ti-Al source and DC magnetron sputtering technique for Si incorporation. The synthesized Ti-Al-Si-N films were revealed to be composites of solid-solution (Ti, Al, Si)N crystallites and amorphous Si3N4 by instrumental analyses. The Si addition in Ti-Al-N films affected the refinement and uniform distribution of crystallites by percolation phenomenon of amorphous silicon nitride, similarly to Si effect in TiN film. As the Si content increased up to about 9 at.%, the hardness of Ti-Al-N film steeply increased from 30 GPa to about 50 GPa. The highest microhardness value (~50 GPa) was obtained from the Ti-Al-Si-N film haying the Si content of 9 at.%, the microstructure of which was characterized by a nanocomposite of nc-(Ti,Al,Si) N/a$-Si_3$$N_4$.

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