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Zn 농도변화에 따른 ZnO 박막의 구조, 광학 및 전기적 특성 연구
Structural, Optical and Electrical Properties of ZnO Thin Films with Zn Concentration 원문보기

한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society, v.40 no.11 = no.258, 2003년, pp.1113 - 1119  

한호철 (성균관대학교 정보통신용 신기능성 소재 및 공정연구센터) ,  김익주 (성균관대학교 정보통신용 신기능성 소재 및 공정연구센터) ,  태원필 (인하대학교 소재연구소) ,  김진규 ((주)서울정광) ,  심문식 ((주)서울정광) ,  서수정 (성균관대학교 정보통신용 신기능성 소재 및 공정연구센터) ,  김용성 (성균관대학교 정보통신용 신기능성 소재 및 공정연구센터)

초록
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저온 박막 공정을 위해 비등점이 낮은 용매인 isopropanol을 사용하였고, 용질zinc acetate의 몰 농도를 0.3∼1.3 mol/l까지 변화시켜 sol을 합성하였다. Zn 농도 변화에 따른 ZnO 박막의 구조 및 광학, 전기적 특성을 분석하였다. XRD 측정에서 Zn의 농도가 0.7 mol/l 일 때 c-축으로 결정 배향성이 뚜렷하였다. SEM으로 박막의 표면 morphology를 관찰한 결과 0.7 mol/l 에서 균일한 표면층을 갖는 나노구조를 이루고 있었다. UV-vis. 측정을 통한 ZnO 박막의 광투과도는 Zn의 농도가 0.7 mol/l 이하에서 87%였으나, 1.0 mol/l 이상의 농도에서는 급격히 감소하였다. 이때 광 밴드갭 에너지는 3.07∼3.22 eV의 값을 나타내며, 벌크 ZnO의 특성과 유사하였다. 박막의 전기 비저항 값은 150 $\Omega$-cm로 Zn의 농도변화에 따라 큰 변화를 보이지 않았으며, I-V 특성분석에서 전형적인 ohmic contact 특성을 보였다.

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

We used isopropanol which has low boiling point to prepare thin films at low temperature and changed mole concentration of zinc acetate from 0.3 to 1.3 mol/l. The structural, optical and electrical properties of ZnO thin films with Zn content were investigated. ZnO thin films highly oriented along t...

주제어

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