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저전압 고주파 MEMS 스위치
Low Actuation Voltage RF MEMS Switch 원문보기

한국해양정보통신학회논문지 = The journal of the Korea Institute of Maritime Information & Communication Sciences, v.7 no.5, 2003년, pp.1038 - 1043  

서용교 (삼성종합기술원) ,  최영식 (부경대학교 전자컴퓨터정보통신 공학부)

초록
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Capacitive-coupled 구조의 RF MEMS 스위치를 설계하여 제작하였으며, 특성을 측정하였다. 낮은 구동 전압은 membrane과 신호선 사이의 간격을 작게 만들어 구현하였다. 제작된 스위치의 구동 전압은 최저 11V이며, 2GHz에서 측정한 고주파 특성은 삽입 손실이 0.2dB이고 절연 특성은 40dB이다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

A capacitive-coupled configuration MEMS switch is designed and fabricated, and its characteristics are measured. Low actuation voltage has been achieved by means of small distance between signal line and membrane. Minimum actuation voltage is about 11V. Isolation is around 40dB and insertion loss is...

AI 본문요약
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문제 정의

  • 건식 에칭으로 희생층으로 사용된 PR를 제거하는 공정은 250o C 이상의 열이 발생한다. 이 열에 의한 변형이 발생하여 membrane과 신호선 사이의 간격이 웨이퍼 위치에 따라 균일하지 않아 Gaussian 분포가 되지 않은 측정 결과를 얻은 것 같다. 그림8은 웅력에 의한 membrane 변형을 Abaqus를 사용하여 시뮬레이션한 결과이며, 그림 9는 측정 결과를 보인다.

가설 설정

  • 그러므로 낮은 저항 값을 가지는 금속 재료의 사용과 넓은 접촉면을 가지도록 설계되어야 한다. 셋째, 점착과 관련된 높은 구동 전압이다. 스위치의 구동전압을 높게 설계하는 이유는 저전압 구동과 점착방 지 방안이 서로 모순되기 때문이다.
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참고문헌 (8)

  1. S. Pacheo, C. T. Nguyen and L. P. B. Katehi. 'Micromechanical Elecstatic K-Band Switches,' IEEE MIT-S Digest, pp. 1569-1572, 1998 

  2. C. Goldsmith, Z. Yao, S. Eshelman and D. Denniston, 'Performance of Low-Loss RFMEMS Capacitive Switches,' IEEE Microwaves and Guided wave Letters, Vol. 8, pp. 269-271, 1998 

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  3. E. Brown, 'RF-MEMS Switches for Reconfigurable Integrated Circuits,' IEEE Trans. Microwave Theory Tech., Vol. 46, pp. 1868-1880, 1998 

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  4. D. Hyman, A. Schmitz, B. Warneke, T. Y. Hsu, J. Lam, J. Brown, J. Schaffner, A. Walston, R. Y. Yoo, G. L. Tangonan, M. Mehregany and J. Lee, 'GaAs-Compatible Surface-Micromachined RF MEMS Switches,' Electron Letters, Vol. 35. pp. 224-226, 1999 

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  5. J. B. Muldavin, G. M. Rebeiz, '30GHz Tuned MEMS Switches,' IEEE MIT-S Digest, pp. 1511-1514, 1999 

  6. K. Suzuki, S. Chen, T. Marumoto, Y. Ara and R. Iwata, 'A Micromechanical RF Microswitch Applicable to Phased-Array antennas,' IEEE MTT-S Digest, pp. 1923-1926, 1999 

  7. J. Chiao, Y. Fu, D. Choudhury and L. Lin, 'MEMS Millimeterwave Components,' IEEE MTT-S Digest, pp. 463-466, 1999 

  8. V. Milanovic, M. Maharbiz, A. Singd, B. Warneke, N. Zhou, H. K. Chan and K. S. J. Pister, 'Microrelays for Batch Transfer Integration in RF Systems,' 2000 IEEE International Conf. on Microelectromechanical Systems, pp. 787-792, 2000 

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