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무선통신시스템을 위한 극소형 RF 칩 인덕터의 개발
Development of Microscale RF Chip Inductors for Wireless Communication Systems 원문보기

電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체, v.40 no.10 = no.316, 2003년, pp.17 - 23  

윤의중 (호서대학교 정보제어공학과) ,  김재욱 (호서대학교 전자공학과) ,  정영창 (호서대학교 전자공학과) ,  홍철호 (호서대학교 정보제어공학과)

초록
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본 논문에서는 고성능의 극소형, 솔레노이드 형태의 RF 칩 인덕터를 연구하였다. 제작된 RF 칩 인덕터의 크기는 1.0×0.5×0.5㎣ 이었다. 코아의 재료 (96% Al₂O₃)와 모양 (I-type)은 인덕터의 성능을 극대화시키도록 Maxwell three-dimensional field simulator를 이용하여 결정되었다. 40㎛의 직경을 가진 가는 구리(Cu)도선을 코일로 사용하였다. 개발된 인덕터의 인덕턴스 (L), 품질계수 (Q), 그리고 커패시턴스 (C) 들에 대한 고주파 특성은 RF 임피던스/재료 분석기 (HP16193A 시험 fixture가 장착된 HP4291B)를 사용하여 측정되었다. 개발된 인덕터들은 230MHz - 1 GHz의 주파수 영역에서 11 - 39 nH 범위의 인덕턴스 값과 28 - 50 범위의 품질계수 값을 가지는데 이는 전 세계적으로 가장 좋은 칩 인덕터 업체 중의 하나인 CoilCraft/sup Tm/에 의해 생산된 인덕터들의 특성과 유사한 결과를 나타내고 있다. 시뮬레이션 데이터는 개발된 인덕터의 L, Q, C 등의 고주파 특성을 잘 예측하고 있다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

In this study, microscale, high-performance, solenoid-type RF chip inductors were investigated. The size of the RF chip inductors fabricated in this work was 1.0${\times}$0.5${\times}$0.5㎣. The materials (96% Al2O3) and shape (I-type) of the core were determined by a Maxwell th...

주제어

#micro scale   #RF chip inductor   #solenoid-type   #Maxwell 3D field simulator   # $Al_2$ $O_3$core  

참고문헌 (13)

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  12. Jun-Bo Yoon, Chul-Hi Han, Eui-Sik Yoon and Choong-Ki Kim, 'Monolithic Fabrication of Electroplated Solenoid Inductors Using Three-Dimension Photolithography of a Thick Photo-resist, 'Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 37, pp. 7081-7085, Part1, No. 12B, Dec 1998 

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  13. Coilcraft, 'Inductors Transformers Filters Catalog,' May 2001 

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