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초미세 공정 및 장비 기술의 국가 기술 로드맵

The National Technology Roadmap of Nano-scale Processing and Equipments

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참고문헌 (10)

  1. 1. NATIONAL NANOTECHNOLOGY INITIATIVE, A Report by the Interagency Working Group on Nanoscience, Engineering and Technology, Committee on Technology National Science and Technology Council, 2000 
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  5. 5. The Global Technology Revolution : Bio/Nano/Materials Trends and Their Synergies with Information Technology by 2015, Philip S.Anton/Richard Silberglitt, James Schneider, Perpared for the National Intelligence Council, RAND(National Defense Research Institute), 2001 
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  8. 8. Science and Technology : Its Consequences, Science News Online, 2002 
  9. 9. Max Schulz, 'The End of the Road for Silicon?,' Nature, 399(24), 729 (1999) 
  10. 10. Takashi Ito and Shinji Okazaki, 'Pushing the Limits of Lithography,' Nature, 406(31), 1027(2000) 

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