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NTIS 바로가기한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics, v.14 no.6, 2003년, pp.594 - 599
신상균 (아주대학교 분자과학기술학과) , 김상준 (아주대학교 분자과학기술학과) , 김상열 (아주대학교 분자과학기술학과) , 최용규 (한국전자통신연구원 반도체ㆍ원천기술연구소) , 박봉제 (한국전자통신연구원 반도체ㆍ원천기술연구소) , 서홍석 (한국전자통신연구원 반도체ㆍ원천기술연구소)
By using the spectroscopic ellipsometry, we have measured and analyzed the optical characteristics of P
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