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[국내논문] 열음극 전리 진공게이지의 기체이탈 특성
Gas desorption species and quantity from the hot cathode ionization gauges 원문보기

韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.12 no.4, 2003년, pp.201 - 206  

홍승수 (한국표준과학연구원 물리표준부) ,  신용현 (한국표준과학연구원 물리표준부) ,  정광화 (한국표준과학연구원 물리표준부)

초록
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스테인레스 스틸 304 재료로 가공된 진공용기의 온도를 $235 ^{\circ}C$까지 올린 후 다시 상온까지 내리는 굽기 과정에서와 세 개의 열음극 전리 진공게이지를 켜거나 탈기체 시켰을 때 이탈하는 기체의 양과 조성을 잔류기체분석기로 측정하여 분석하였다. 굽기 과정에서 이탈된 기체는 주로 $H_2,\; CO,\; H_2O$ 등이었으나 상온에서의 잔류기체는 $H_2$와 CO가 대부분이었다. 게이지를 켜거나 탈가스 시킨 후 용기내의 잔류가스는 $H_2$와 $H_2O$가 대부분이었고 이탈된 기체의 양과 종류는 게이지마다 조금씩 차이가 있음을 알 수 있었다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

A residual gas analyzer was used to study the outgassing behavior of stainless steel 304 chamber as a function of bake-out temperature up to $235 ^{\circ}C$ and to identify the gas species evolved during turn on and degassing of the three different types of hot cathode ionization gauges. ...

Keyword

#탈기체   #진공   #굽기   #열음극 전리 진공게이지   #잔류기체분석기  

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