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반응성이 있는 메타크릴레이트 공중합체를 이용한 정전용량형 습도센서
Capacitive Humidity Sensor Using Reactive Methacrylate Copolymers 원문보기

마이크로전자 및 패키징 학회지 = Journal of the Microelectronics and Packaging Society, v.10 no.4 = no.29, 2003년, pp.21 - 27  

공명선 (단국대학교 첨단과학부 화학과) ,  이임렬 (단국대학교 공학부 신소재공학과)

초록
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정전 용량형 고분자막 감습재료로 사용하기 위하여 서로 반응성이 있는 공중합체들 methyl methacrylate (MMA), ethyl methacrylate (EMA), acrylic acid (MA) 와 hydroxyethyl methacrylate (HEMA)의 공중합체들을 합성하였다. 정전 용량형 습도센서는 가교화된 폴리메타크릴레이트 공중합체 막의 양면에 금 전극을 형성시켜 제조하였다. 공중합체에서의 HEMA양이 증가할수록 상대습도에 따른 정전 용량은 증가하였다. MMA/MA/HEMA=40/10/10의 경우, 상대습도가 30%RH, 60%RH 및 90%RH에서의 정전 용량은 각 102, 134와 165 pF이었다. 또한 히스테리시스, 온도 사이클 그리고 장기안정성 결과를 측정하여 정전용량형 습도센서로서의 특성을 평가하였다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

The copolymers with various composition of methyl methacrylate (MMA), ethyl methacrylate (EMA), methacrylic acid (MA) and hydroxyethyl methacrylate (HEMA) were synthesized for capacitive humidity sensitive materials. The capacitive humidity sensor consisted of a polymethacrylate film coated on both ...

주제어

#polyalkyl methacrylate   #copolymers   #capacitive humility sensor   #mutually reactive copolymers  

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