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제안 방법
- 본 논문은 압전체의 전압과 변위의 선형관계식을 이론을 통하여 유도하고 실험을 통하여 검증하였으며, 스프링이 부착되고 압전체의 상하에 케이스 내에 압력으로 인한 힘의 차이가 동시에 작용할 때 압전체의 변위량을 구하였고, 전압과 유량의 비선형관계를 이론과 실험을 통하여 구함으로써 압전체 밸브에서 입력인 전압과 출력인 유량의 관계를 규명하여 제어를 위한 모델링으로 사용할 수 있옴을 확인하였다.
- 1과 같이 구성되어 있으며, 체임버 (chamber) 내부에 증착판과 재료가 있고 가스의 양 과 인가되는 전압으로 증착되는 재료의 양을 제어한다. 이를 위하여 체임버 내부에 공급되는 가스의 유 량을 다양한 방법으로 측정하여 이를 설정값과 비교하여 출력되는 공급가스를 제어한다. 밸브의 종류에 는 솔레노이드(solenid), 열(thermal), 압전체 방식 등이 있으며, 공급되는 산소의 고 정밀 유량 제어를 위하여 압전체(piezoelectric materia])를 이용한 밸브와 압전체 밸브제어기를 이용한다2).
대상 데이터
- Fig. 6은 실험장치로써 압전체는 피에조 사 T216-A4NO -373X, 압전체의 파워증폭기는 피에조사 EPA- 104, 레이저측정기는 오므론(omron)사 ZX-LD40을 사용하였다. Fig.
- 12는 압전체 밸브의 유량 측정 장치이다. 구성은 측정 장치를 보호하기 위한 필터(filter), 가스의 공급하기 위한 다이어프램 (diaphram)방식의 스위치, 압력 조절용 레귤레이터, 30) SCCM( standard cubic centimeter per minute)의 유량 측정 유니트로 제작하였고 압력용기는 40 리터로서 사용 가스는 순도 99.999%의 N2 , O.75PFM의 Os, 5FPM이하의 H2O로 구성되어 분석정밀도는 ±2% 이다.
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