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나노 복화공정의 역방향 적층법을 이용한 직접적 나노패턴 생성에 관한 연구
Directly Nano-precision Feature Patterning on Thin Metal Layer using Top-down Building Approach in nRP Process
원문보기
한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.21 no.6 = no.159, 2004년, pp.153 - 159
박상후 (한국과학기술원 기계공학과 대학원) , 임태우 (한국과학기술원 기계공학과 대학) , 양동열 (한국과학기술원 기계공학) , 공홍진 (한국과학기술원 물리학과)
Abstract
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In this study, a new process to pattern directly on a thin metal layer using improved nano replication printing (nRP) process is suggested to evaluate the possibilities of fabricating a stamp for nano-imprinting. In the nRP process, any figure can be replicated from a bitmap figure file in the range...
주제어
참고문헌 (13)
-
Chou, S.Y., Keimel, C., Gu, J., 'Ultrafast and direct imprint of nanostructures in silicon,' Nature, Vol.417, No.20, pp.835-837, 2002
-
Xia, Y., Whitesides, G.M., 'Soft lithography,' Angew. Chem. Int. Ed., Vol.37, pp.550-575, 1998
-
Loo, Y.L., Lang, D.V., Rogers, J.A., Hsu, J.W.P., 'Electrical contacts to molecular layers by nanotransfer printing,' Vol.3, No.7, pp.913-917, 2003
-
Kim, C.S., Shtein, M., Forrest, S.R., 'Nanolithography based on patterned metal transfer and its application to organic electronic devices,' Appl. Phy. Letters, Vol. 80, No. 21, pp. 4051-4053, 2002
-
Odem, T.W., Love,J .C., Wolfe, D.B., Paul, K.E., Whitesides, G.M., 'Improved pattern transfer in soft lithography using composite stamps,' Langmuir, Vol.18, pp. 5314-5320, 2002
-
Schmid, H., Wolf, H., Allenspach, R., Riel, H., Karg, S., Michel, B., Delamarche, E., 'Preparation of metallic films on elastomeric stamps and their application for contact processing and contact printing,' Adv. Funct. Mater., Vol.13, No.2, pp.145-153, 2003
-
Park, S.H., Lim, T.W., Yang, D.Y., Yi, S.W., Kong, H.J., 'Development of a nano replication printing(nRP) process using a voxel matrix scanning scheme,' The KSPE Autumn Meeting, pp. 424-427, 2003
-
Sun, H.B., Maeda, M., Takada, K., Chon, J.W.M., Gu, M., Kawata, S., 'Experimental investigation of single voxels for laser nanofabrication via two-photon photopolymerization,' Vol.83, No.5, pp.819-821, 2003
-
Kawata, S., Sun, H.B., Tanaka, T., Takada, T., 'Finer features for functional microdevices,' Nature, Vol.412, No.16, pp. 697-698, 2001
-
Serbin, J., Egbert, A., Ostendorf, A., Chichkov, B.N., 'Femtosecond laser-induced two-photon polymerization of inorganic-organic hybrid materials for applications in photonics,' Optics letters, Vol.28, No.5, pp.301-303, 2003
-
Maruo, S., Kawata, S., 'Two-photon-absorbed mearinfrared photopolymerization for three-dimensional microfabrication,' J. of Microelectromechanical Systems, Vol.7, No.4, pp.411-415, 1998
-
Sun, H.B., Tanaka, T., Kawata, S., 'Three-dimensional focal spots related to two-photon excitation,' App. Physics letters, Vol.80, No.20, pp.3673-3675, 2002
-
Yi, S.W., Lee, S.K., Kong, H.J., Park, S.H., Jeong, C.G., Lim, T.W., Yang, D.Y., 'Three-dimensional microfabrication with nano resolution using two-photon absorption of femto-second laser,' Optical Society of Korea Summer Meeting, pp.64-65, 2003
저자의 다른 논문 :
- [본원] 대전광역시 유성구 대학로 245 한국과학기술정보연구원
- [분원] 서울시 동대문구 회기로 66 한국과학기술정보연구원
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