$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

원자 현미경에서 마찰력 측정을 위한 새로운 실험 기법
A New Experimental Technique for Calibration of Frictional Force in Atomic Force Microscopy 원문보기

大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers. A. A, v.28 no.12 = no.231, 2004년, pp.1906 - 1913  

최덕현 (포항공과대학교 대학원 기계공학과) ,  황운봉 (포항공과대학교 기계공학과) ,  윤의성 (한국과학기술연구원 트라이볼로지 연구센터)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

A new method has been proposed for the calibration of frictional forces in atomic force microscopy. Angle conversion factor is defined using the relationship between torsional angle and frictional signal. Once the factor is obtained from a cantilever, it can be applied to other cantilevers without a...

주제어

AI 본문요약
AI-Helper 아이콘 AI-Helper

* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

  • 그러나, 이들의 보정 방법은 실험 방법이 매우 복잡하여 수행하기 어려우며, 측정하려는 외팔보의 치수와 굽힘 강성이 바뀌면 같은 실험을 반복해야 한다. 따라서, 본 연구에서는 원자현미경에서의 마찰력을 정량적으로 계산하기 위해각 변환 계수를 이용하는 새로운 보정 방법을 제안 하고자 한다. 각 변환 계수란 원자 현미경 검파기의 고유한 특성치로 외팔보의 비틀림에 대한검파기에서 산출되는 마찰 신호의 비이다.
  • 본 연구에서는 원자 현미경에서 측정된 마찰신호를 정량화하는 새로운 방법을 제안한다. 각변환 계수를 이용하는 보정 방법은 측정된 실험자료와 평평한 면과 요철면 정상에서의 모멘트 평형식을 이용하여 계산된다.
  • 본 연구에서는 원자 현미경에서의 마찰 신호를각 변환 계수를 이용해 마찰력으로 정량화하는 방법을 고려하였다. 식 (1)은 외팔보의 비틀림 각도에 대한 마찰 신호의 비로 이 값이 각 변환 계수이다.

가설 설정

  • 1) 최대 마찰 신호는 팁의 끝부분에서 발생한다
  • AFM 팁 의 경 우에 일반적으로 수직항력이 50 nN 이상에서 점착력의 영향은마찰력에 비해 아주 작게 된다.3)나노 스케일에서의 마찰력은 온도와 습도에 따라 점착력의 차이로 인해 다른 값을 갖게 된다. 점착력의 차이로마찰력의 크기는 변하지만, 재료에 따른 마찰 계수는 변하지 않는다.
  • 앞서 언급한최대 마찰 신호와 요철면의 최대 높이의 위치 차이(약 40-70 nm)는 팁 높이에 비해 매우 작으므로 O 점에서 모멘트 평형식에 큰 영향을 끼치지 않을것으로 고려된다. 또한, 마찰력에 의한 외팔보의비틀림 각도는 매우 작은 범위에서 변하므로, 다음 세 가지 조건을 가정한다.
  • 점착력의 차이로마찰력의 크기는 변하지만, 재료에 따른 마찰 계수는 변하지 않는다. 또한, 본 연구에서는 평평한면에서의 마찰 신호와 요철면에서의 최대 마찰 신호의 비를 이용하기 때문에 점착력의 차이로 인한마찰력의 차이는 큰 영향을 주지 않는다고 가정하였다. Fig.
본문요약 정보가 도움이 되었나요?

참고문헌 (16)

  1. Binnig, G., Quate, C. F. and Gerber, C., 1986, 'Atomic Force Microscope,' Phys. Rev. Lett., Vol. 56, pp.930-933 

  2. Mate, C. M., MaClelland, G. M., Erlandsson, R. and Chiang, S., 1987, 'Atomic-Scale Friction of a Tungsten Tip on a Graphite Surface,' Phys. Rev. Lett., Vol. 59,pp. 1942-1945 

  3. Meyrer, G. and Amer, N. M., 1990, 'Simultaneous Measurement of Lateral and Normal Forces with an Optical-Beam-Deflection Atomic Force Microscopy: the NaCl (011) Surface,' Appl. Phys. Lett., Vol. 57, pp. 2089-2091 

  4. Virwani, K. R., Malshe, A. P., Schmidt, W. F. and Sood, D. K., 2003, 'Young's Modulus Measurements of Silicon Nanastructures Using a Scanning Probe System: s Non-Destructive Evaluation Approach,' Smart Mater. Struct., Vol. 12, pp. 1028-1032 

  5. Namazu, T., Isono, Y. and Tanaka, T., 2000, 'Evaluation of Size Effect on Mechanical Properties of Single Crystal Silicon by Nanoscale Bending Test Using AFM,' J. Microelectromech. S., Vol. 9, pp. 450-459 

  6. Sundararajan, S. and Bhushan, B., 2002, 'Development of AFM-Based Techniques to Measure Mechanical Properties of Nanoscale Structures,' Sensors and Acutuators A, Vol. 101, pp. 338-351 

  7. Iosno, Y., Narnazu, T., Terayarna, N. and Tanaka, T., 2002, 'Mechanical Characterization of Sub-Micrometer Thick DLC Films by AFM Tensile Testing for Surface Modification in MEMS,' Int. Proc. MEMS IEEE, pp. 431-434 

  8. Sundararajan, S., Bhushan, B., Namazu, T. and Isono, Y., 2002, 'Mechanical Property Measurements of Nanoscale Structures Using an Atomic Force Microscope,' Ultramicroscopy, Vol. 91,111-118 

  9. Namazu, T. and Isono, Y., 2003, 'Quasi-Static Bending Test of Nano-Scale Si02 Wire at Intermediate Temperatures Using AFM-Based Technique,' Sensors and Acutuators A, Vol. 104, 78-85 

  10. Ruan, J. A. and Bhushan, B., 1994, 'Atomic-Scale Friction Measurements Using Friction Force Microscopy: Part I - General Principles and New Measurement Techniques,' ASME J. Tribol., Vol. 116, pp. 378-388 

  11. Ogletree, D. E, Carpick, R.W. and Salmeron, M., 1996, 'Calibration of Frictional Forces in Atomic Force Microscopy,' Rev. Sci. Instrum., Vol. 67, pp. 3298-3306 

  12. Schwarz, U.D., Koster, P. and Wiesendanger, R., 1996, 'Quantitative Analysis of Lateral Force Microscopy Experiments,' Rev. Sci. Instrum., Vol. 67, 2560-2567 

  13. Bhushan, B., 1999, Handbook of Micro/Nano Tribology, CRC, pp. 22-29 

  14. Crandall, S. H., Dahl, N. C. and Lardner, T. J., 1978, An Introduction to the Mechanics of Solids, $2^nd$ ed., McGraw-Hill, Auckland, pp. 393-395 

  15. Beer, F. P. and Johnston, E. R., 1992, Mechanics of Materials, $2^nd$ ed., McGraw-Hill, London, pp. 163-165 

  16. Neumeister, J. M. and Ducker, W. A., 1994, 'Lateral, Normal, and Longitudinal Spring Constants of Atomic Force Microscopy Cantilever,' Rev. Sci. Instrum., Vol. 65, pp. 2527-2531 

저자의 다른 논문 :

섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로