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NTIS 바로가기반도체및디스플레이장비학회지 = Journal of the semiconductor & display equipment technology, v.3 no.3, 2004년, pp.37 - 40
This study presents numerical solutions of three-dimensional laminar flow-field formed by photo resist flow in a slit-coater model. We discuss on the governing equations, laminar viscosities and the computational model applied in our numerical calculation and some results. We prove that the structur...
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