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[국내논문] 고성능 MISFET형 수소센서의 제작과 특성
Fabrication of MISFET type hydrogen sensor for high Performance 원문보기

한국수소 및 신에너지학회 논문집 = Transactions of the Korean Hydrogen and New Energy Society, v.15 no.4, 2004년, pp.317 - 323  

강기호 (경북대학교 대학원) ,  박근용 (경북대학교 대학원) ,  한상도 (에너지 연구소) ,  최시영 (경북대학교 전기.전자.컴퓨터 공학부)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

We fabricated a MISFET using Pd/NiCr gate for the detecting of hydrogen gas in the air and investigated its electrical characteristics. To improve stability and high concenntration sensitivity and remove the blister generated by the penetration of hydrogen atoms Pd/NiCr catalyst gate metal are used ...

Keyword

#이중 절연층   #수소 센서  

참고문헌 (40)

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