[논문]Photo reflectance Measurement in Si<tex>$_{3}$</tex>N<tex>$_{4}$</tex>/ Al<tex>$_{0.21}$</tex>Ga<tex>$_{0.79}$</tex> As/GaAs Heterostructure

Yu Jae-In; Park Hun-Bo; Choi Sang-Su; Kim Ki-Hong; Baet In-Ho

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Photo reflectance Measurement in Si$_{3}$N$_{4}$/ Al$_{0.21}$Ga$_{0.79}$ As/GaAs Heterostructure 원문보기

KIEE international transactions on electrophysics and applications, v.5C no.2, 2005년, pp.54 - 57

Yu Jae-In (Department of Physics, Yeungnam University) , Park Hun-Bo (Department of Physics, Yeungnam University) , Choi Sang-Su (Department of Physics, Yeungnam University) , Kim Ki-Hong (Department of Physics, Yeungnam University) , Baet In-Ho (Department of Physics, Yeungnam University)

Abstract ▼ AI-Helper

Photoreflectance (PR) has been measured to investigate the characterization of the Si$_{3}$N$_{4}$Al$_{0.21}$ Ga$_{0.79}$As/GaAs and Al$_{0.21}$Ga$_{0.79}$As/GaAs heterostructures. In the PR spectrum, the caplayer thickness was 170 nm and Si$_{3}$N$_{4}$ was utilized as the capping material. The C peak is confirmed as the carbon defect with residual impurity originating from the growth process. After annealing, in the presence of the Si$_{2}$N$_{4}$ cap layer, band gap energy was low shifted. This result indicates that the Si$_{3}$N$_{4}$ cap layer controlled evaporation of the As atom.

AI 본문요약
AI-Helper

* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

가설 설정

2. When cap layer thickness is 170 nm, EH and C signals are observed between GaAs and Alo.21Gao.79As interface. EH signals could be attributed to interference effects from the Si3N₄ZAlo.

제안 방법

We found the electric field magnitude was determined by PR. The samples (SiaNVAlo^i Ga()■四As/GaAs and AI0.21 Gao.7c>As/GaAs) were annealed under a controlled NH₂ in order to investigate the thermal effect of the S13N₄ cap layers.

성능/효과

1. When Si3N₄ thickness cap layer is 110 nm, FKO signal by occurrence of electric field that is higher than the electric field occurring on supplementary sample's interface, is clearly observed.
3. After annealing, when there is a cap layer present, the degree that is moved by high energy decreased. This is because As acts as a control in the presence of a cap layer.

참고문헌 (14)

F.L. Riley, J. Am. Ceram. Soc. 83(2000) 245

상세보기
O.P. Agnihotri, S.C. Jain, J. Pootmans, J. Szlufcik, G. Beaucarne, J. Nijs, R. Mertens, Semicond. Sci. Technol. 15(2000) 29
Alvarez, M. Lopez-Lopez, A.G. Rodriguez-Vazquez, V.H. Mendez-Garcia, Microelectronic journal. 34(2003) 521
Chung-Kun Song, KIEE Int. Trans. on EA, Vol. 12C, no. 2, pp. 136-138, 2002
M. Iwamoto, T. Manaka and A Tojima, 'Detection of Tilting Phase Transition in Monolayers at Air-water Interface by Maxwell-displacement current and Optical-Second Harmonic Generation Measurements', KIEE Int. Trans. on EA, Vol. 12C, no. 2, pp. 64-69, 2002
Pollak, F.H., Proc. SPIE., 946(1998) 2
R.E. Nahory, J.L. Shay, Phys. Rev. Lett. 21(1968) 1569

상세보기
E.M. Goldys, A. Mitchell, T.L. Tansley, R.J. Egan, A.Clark, Optis Communications. 124(1996) 392

상세보기
V. Swaminathan, M.D. Sturge, J. L. Zilko, J. Appl. Phys. 52(1981) 6306

상세보기
J. L. Shay, Phys. Rev. 2(1970) 803

상세보기
P.J. Hughes, B.L. Weiss, T.J.C. Hosea, J. Appl. Phys. 77(1995) 6472

상세보기
B. S. Ooi, A. C. Bryce, J. H. Marsh and J. S. Roberts, Semicond. Sci. Technol. 12 (1997) 121

상세보기
M. S. Tong, H. S. Kim and Y. Chen, 'Design and Analysis of Double-Layered Microwave Integrated Circuits Using a Finite-Difference Time-Domain Method,' KIEE Int. Trans. On EA, Vol.4-C, No.6, pp. 255-262, 2004
J. Y. Choi, S. G. Kim, J. W. Park, S. J. Park and H. J. Kim, 'A Study on Hair Removal Characteristics Using a Long-pulsed Alexandrite Laser,' KIEE Int. Trans. On EA, Vol.5-C, No.1, pp. 33-38, 2005

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