[논문]깊은 구멍 가공을 위한 가공액 초음파 가진 미세 방전가공

제성욱; 이해성; 주종남; 김덕환

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깊은 구멍 가공을 위한 가공액 초음파 가진 미세 방전가공
Micro EDM with Ultrasonic Work Fluid Vibration for Deep Hole Machining 원문보기

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.22 no.7 = no.172, 2005년, pp.47 - 53

제성욱 (LG전자 생산기술연구원) , 이해성 (서울대학교 대학원 정밀기계설계공동연구소) , 주종남 (서울대학교 기계항공공학부) , 김덕환 (서울대학교 기계항공공학부)

Abstract ▼ AI-Helper

Microholes with high aspect ratio are required in microstructures. Among various methods for producing the microhole, micro electrical discharge machining (MEDM) is very effective and useful process. But, it is difficult to machine the high aspect ratio holes below $100\;{\mu}m$ in diameter because machining condition becomes unstable due to bad removal of debris at deep hole. In this paper, ultrasonic vibration is applied to MEDM work fluid to make a high aspect ratio micro hole. It is shown that the vibration is effective in circulating the debris and increasing the machining rate. As a result, produced was a micro hole with $92\;{\mu}m$ entrance diameter, $81\;{\mu}m$ exit diameter and aspect ratio 23.

주제어

참고문헌 (9)

Masuzawa, T., Tsukamoto, J. and Fujino, M., 'Drilling of deep micro holes by EDM,' Annals of the CIRP, Vol. 38, pp. 195-198, 1989

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Masuzawa, T., Kuo, C. L. and Fujino, M., 'Drilling of deep microholes by EDM using additional capacity,' Japan Society of Precision Engineering, Vol. 24, pp. 275-276, 1990
Allen, D. M., Huang, S. X., 'The reduction of tool ear and machining time for the micro-electrodischarge machining of micro-holes by using copper vapor laser machining as a roughing process, ' International Journal of Electrical Machining, Vol. 2, pp. 9-11, 1997
Kubota, S., Uno, Y., Kuribayashi, H. and Yokomizo, S., 'Fine deep boring of carbide by EDM with YAG laser,' Journal of the Japan Society of Electrical Machining Engineers, Vol. 35., pp. 19-25, 2001

상세보기
Zhao, W., Wang, Z., Di, S., Chi, G. and Wei, H., 'Ultrasonic and electric discharge machining to deep and small hole on titanium alloy,' Journal of Materials Processing Technology, Vol. 120, pp. 101-106, 2002

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Yeo, S. H., Tan, L. K., 'Effects of ultrasonic vibrations in micro electro-discharge machining of microholes,' Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 9., pp. 345-352, 1999

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Masuzawa, T., Fujino, M. and Kobayashi, K., 'Wire electro-discharge grinding for micro machining,' Annals of the CIRP, Vol. 34, pp. 431-424, 1985

상세보기
Kinsler, L.E., Frey, A.R., Coppens, A.B. and Sanders, J. V., 'Fundamental of acoustics,' John Wiley & Sons, Fourth ed., 1980
Cho, P. J., Yi, S. M., Choi, D. K. and Chu, C.N., 'Characteristics of RC circuit with transistor in Micro-EDM,' Journal of the Korean Society of Precision Engineering, Vol. 21, No. 12, pp. 44-51, 2004

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