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근접장 나노광학 기술과 응용
Near-field Nano-Optics and Its Applications 원문보기

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.22 no.12 = no.177, 2005년, pp.7 - 15  

장원석 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터 나노공정팀) ,  황경현 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터 나노공정팀) ,  김진범 (한국과학기술원 기계공학과) ,  나석주 (한국과학기술원 기계공학과)

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주제어

#근접장   #근접장주사현미경   #개구부   #비개구 근접장주사현미경   #나노패터닝  

참고문헌 (23)

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