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Ultra-precision positioning systems basically require high natural frequency and sufficient workspace. To cope with this requirement, flexure hinge mechanisms have been developed. However, previous designs are difficult to satisfy the functional requirements of the system due to difficulty in modeli...

주제어

참고문헌 (14)

  1. Gao, P., Swei, S.M. and Yuan, Z., 1999, 'A New Piezodriven Precision Micropositioning Stage Utilizing Flexure Hinges,' Nanotechnology, Vol. 10, pp. 394-398 

  2. Scire, F.E. and Teague, E.C., 1978, 'Piezo- driven $50-{\mu}m$ Range Stage with Subnanometer Resolution,' Rev, Sci, Instrum., Vol. 49, No. 12, pp. 1735-1740 

  3. Ryu, J.W., Gweon, D.G. and Moon, K.S., 1997, 'Optimal Design of a Flexure Hinge Based $XY{\theta}$ Wafer Stage,' Precision Engineering, Vol. 21, pp. 18-28 

  4. Yang, R., Jouaneh, M. and Schweizer, R., 1996, 'Design and Characterization of a Low-profile Micropositioning Stage,' Precision Engineering, Vol. 18, pp. 20-29 

  5. Pahk, H.J., Lee, D.S. and Park, J.H., 2001, 'Ultra Precision Positioning System for Servo Motor-Piezo Actuator using the Dual Servo Loop and Digital Filter Implementation,' Machine Tools & Manufacture, Vol. 41, pp. 51-63 

  6. Suh, N.P., 2001, Axiomatic Design, Oxford University Press, New York 

  7. Freeman, R.A. and Tesar, D., 1988, 'Dynamic Modeling of Serial and Parallel Mechanisms/Robotics Systems, Part I-Methodology, Part II-Applications,' Proc. of 20th ASME Mechanisms Conference, Orlando. FL. DE-Vol. 15, No 3, pp. 7-27 

  8. Kang, H.J., Yi, B-J., Cho, W., and Freeman, R.A., 1990, 'Constraint-Embedding Approaches for General Closed-Chain System Dynamic in Terms of A Minimum Coordinate Set.' Proc. ASME Biennial Mechanism Conf., Chicago, Vol. 24, pp.125-132 

  9. Chung, G.B., Yi, B-J., Suh, I.H., Kim, W.K. and Chung, W.K., 2001, 'Design and Analysis of a Spatial 3-DOF Micro Manipulator for Tele- operation,' Intelligent Robots and Systems, Proc. IEEE International Conference on Intelligent Robots and Systems, Maui, pp. 337-342 

  10. Ryu, J.W., 1997, '6-Axis Ultraprecision Positioning Mechanism Design and Positioning Control,' Ph. D. dissertation, Department of Mechanical Engineering, KAIST 

  11. Yi, B-J., Chung, G.B., Kim. W. K. and Suh. I. H., 2003, 'Design and Experiment of a 3-DOF Parallel Micromechanism Utilizing Flexure Hinges,' IEEE Transaction on Robotics and Automaion, Vol. 19, No. 4, pp. 604-612 

  12. Craig, J., 1986, Introduction to Robotics, Addison-Wesley, Menlo Park, CA 

  13. Smith, S.T., Chetwynd, D.G. and Bowen, D.K., 1988, 'Design and Assessment of Monolithic High-Precision Translation Mechanisms,' J Phys E: Sci Instrum, Vol. 20, pp. 977-983 

  14. Venkataraman, P., Applied Optimization with MATLAB Programming, Wiley, New York 

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