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NTIS 바로가기한국시뮬레이션학회논문지 = Journal of the Korea Society for Simulation, v.14 no.4, 2005년, pp.55 - 68
박상훈 (고려대학교 산업시스템정보공학과) , 서상혁 (고려대학교 산업시스템정보공학과) , 김지현 (고려대학교 정보통신기술연구소) , 김성식 (고려대학교 산업시스템정보공학과)
The advancement in semiconductor technology is leading toward smaller critical dimension designs and larger wafer manufactures. Due to such phenomena, semiconductor industry is in need of an accurate control of the process. Photolithography is one of the key processes where the pattern of each layer...
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