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TFT(Two-Facing-Targets) 스퍼터장치에 의해 증착된 (TiAl)N 박막의 상변태에 관한 연구
A Study on the Phase Transformations of (TiAl)N Films Deposited by TFT Sputtering System 원문보기

열처리공학회지 = Journal of the Korean society for heat treatment, v.18 no.5, 2005년, pp.281 - 287  

한창석 (호서대학교 산학협력육성사업단)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

Titanium aluminium nitride((TiAl)N) film is anticipated as an advanced coating film with wear resistance used for drills, bites etc. and with corrosion resistance at a high temperature. In this study, (TiAl)N thin films were deposited both at room temperature and at elevated substrate temperatures o...

주제어

#(TiAl)N film   #Two-facing-targets type DC sputtering system   #Phase transformations  

참고문헌 (23)

  1. Frank. H. W. Loffler : Surface Coatings Tech., 68-69 (1994) 729 

  2. Chi-To Huang, Jeng-G. Duh : Surface Coatings Tech., 71 (1995) 259 

  3. W. D. Munz, T. Hurkmans, G. Keiren and T. Trinh: J. Vac. Sci. Tech., A11(5) (1993) 2583 

  4. O. Knotek, W. D. Munz and T. Leyendecker : J. Vac. Sci. Tech., A5 (1987) 2173 

  5. H. G. Prengel, A. T. Santhanam, R. M. Penich, P. C. Jindal and K H. Wendt: Surface Coatings Tech., 94-95 (1997) 597 

  6. A. Raveh, M. Weiss, M. Pinkas, D. Z. Rosen and G. Kimmel: Surface Coatings Tech., 114 (1999) 269 

    상세보기 crossref

  7. G. B. Marchwicka, L. K Stepniewska and W. Posadowski : Thin Solid Films, 82 (1981) 313 

    상세보기 crossref

  8. O. Knotek, W. Bosch and T. Leyendecker : J. Vac. Sci. Tech., A4 (1986) 2695 

  9. W. D. Munz : J. Vac. Sci. Tech., A4 (1986) 2717 

  10. H. A. Jehn, S. Hofmann, V. E. Ruckbom and W. D. Munz : J. Vac. Sci. Tech., A4 (1986) 2701 

  11. L. A. Donahue, J. Cawley and J. S. Brooks: Surface Coatings Tech., 72 (1995) 128 

    상세보기 crossref

  12. H. A. Jehn, F. Thiergarten, H. Ebersbacb and D. Fabian : Surface Coatings Tech., 50 (1994) 45 

  13. C. Rebholz, A. Leyland and A. Mattews : Thin Solid Films, 343-344 (1999) 242 

  14. Sang-H. Lee, Hoo-J, Ryoo and jung-J. Lee: J. Vac. Sci. Tech., A12(4) (1994) 1602 

  15. D. E. Mencer, Jr., T. R. Hess and T. Mebrahtu : J. Vac. Sci. Tech., A9(3) (1990) 1610 

  16. L. Stals, K-T. Rie, D. C. Schram and G. K Wolf : Proc. of the 4th International Conf. on Plasma Surface Eng., Garmisch Partenkirchen, September, (1995) 

  17. R. Komanduri : Int. J. Refrat. Met. Hard Mater., 8 (1989) 125 

  18. Joo-S, Yoon, Hyung-J. Kim, Jeon-G. Han and Keon Song: J. Kor. Inst. Met. & Mater. 34, 2 (1996) 192 

  19. Joo-S. Yoon, Jeon-G. Han and Jun-H. Hahn: J. Kor. Inst. Met. & Mater. 38, 3 (2000) 495 

  20. C. H. Baeg, Y. G. Park and M. Y. Wey : J. Kor. Inst. Met. & Mater. 40, 9 (2002) 984 

    상세보기

  21. C. S. Han and O. Nittono ; J. Kor. Inst. Met. & Mater. 39, 3 (2001) 253 

    상세보기

  22. W. C. Oliver and G. M. Pharr : J. Mater. Res., 7, 6 (1992) 1564 

    상세보기 crossref

  23. W. Ieitschko, H. Nowotny and F. Benesovsky ; Monatsh. Chem. 94 (1963) 1198 

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