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극초단 펄스 레이저를 이용한 재료가공기술 원문보기

기계저널 : 大韓機械學會誌, v.45 no.1 = no.290, 2005년, pp.40 - 44  

조성학 (한국기계연구원 나노공정그룹) ,  신동식 (연세대학교 금속공학과) ,  이제훈 (한국기계연구원 레이저응용시스템그룹)

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  • 극초단 펄스 레이저는 재료의 열반응 속도보다 빠 른 시간 내에 빔을 조사하므로 비열적 성질을 가지고 있다. 이를 이용하여 기존의 레이저 가공법으로서는 시도할 수조차 없었던 서브미크론 가공 및 비열적 가 공특성을 이루어냈다. 또한 투과물질 재료의 내부에 도 서브미크론 크기의 패턴을 3차원으로 가공하여 광통신 분야, 전자, 및 바이오 관련 산업의 광범위한 분야에 응용될 것으로 전망된다.
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