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문제 정의
주사전자현미경(SEM)은 1930년대 중반부터 개발이 시작되어 I960년 초에 영국 캠브리지 대학에서 연구 개발된 SEM이 처음으로 상업화되었다. SEMe TEM에서 사용되는 매우 얇은 브f므} 형태의 시료 제작의 어려움을 극복하고 쉽게 물체의 표면을 관찰하기 위하여 개발되었다. 주사전자현미경은 TEM보다는 간단한 구조의 렌즈 배열 구조를 가고 있다.
이론/모형
또한 상을 보기 관찰하기 위하여 중금속을 진공 증착해서 음영을 주어 입체감을 내 거나, 시료 자체에 중금속을 주입(염색)하여 콘트라스트를 주는 방법도 있다. 금 속과 같이 고체 표면을 관찰하는 경우에는 레플리카 (replica)법을 사용한다. 이는 플라스틱으로 고체 표면의 주형을 뜨고 여기에 음영법으로 요철에 음영을 주어 관찰하며, 금속의 내부는 시료를 전해연마로 1, OOOA 정도 얇게 만들어 관찰한다.
후속연구
이러한 차세대 전자현미경은 반도체 산업 분야뿐만 아니라 일반산업 분야 및 현대과학의 전 영역에서 중요한 핵심기술로 이용될 것으로 전망된다.
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