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제안 방법
그러나 현재의 포토다이오드는 높이뿐만 아니라 수평 방향의 변위도 동시에 검출 할 수 있다. 상하로 나누어진 포토다이오드가 수직 방향 변위를 측정하고 좌우로 나누어진 포토다이오드가 수평 방향의 변위를 측정한다.
성능/효과
이러한 도체만을 측정할 수 있다는 시료의 한계를 극복한 부도체 시료도 측정할 수 있는 주사(scanning) 방식의 현미경인 AFM(Atomic Force Microscope)가 1986년에 Stanford의 Quate 교수팀에 의해 고안되었고 '90년대에 이르러 본격적으로 산업화되었다. 시료의 제한으로 인해 STM 방식은 거의 상용화되지 못 하였고 AFM 원리의 SPM(Scanning Probe Microscope)0] 상용화되었다.
후속연구
SIA(Semiconductor Industry Association)의 International Technology roadmap for Semiconductor에 발표되어 있듯이 반도체 산업 에서는 원자 현미경을 중요한 차세대 정밀 계측 장비로 인정하고 있다. 원자 현미경은 진공 상태나 대기 중뿐만 아니라 액체 내에서도 측정이 가능하므로 살아있는 세포 내의 구조나 세포 분열 등 바이오산업 분야에서의 활용의 증대가 기대된다’ 원자 현미경은 관찰, 측정에 그치지 않고 가공, 조작(handling)의 기능도 할 수 있어 나노로봇, 나노리소그라피, 나노 머시닝, 나아가 분자의 합성 등의 연구에 활용될 것이다.
기존 탐침의 경우 탭핑 모드를 사용, 접촉방식에 비해 탐침의 마모를 최소화할 수 있으나, 탐침의 제 작 공정상의 한계로 분해능은 제한될 수밖에 없었다. 향후 CNT를 이용한 탐침 활용 기술이 실용화되면 마모 문제와 분해능 문제가 다 해결되리라 기대한다.
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