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NTIS 바로가기韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.15 no.5, 2006년, pp.451 - 457
하태균 (포항공과대학교) , 안병남 (주식회사 브이엠티) , 이득진 (주식회사 브이엠티) , 김진곤 (주식회사 브이엠티) , 정석민 (포항공과대학교)
We measured pumping speed of a sputter ion pump with a honeycomb anode cell structure and compared the result with that of another sputter ion pump with a typical cylindrical anode cell structure. A cell module with a honeycomb structure has no dead space which is about 10 % of the entire horizontal...
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