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제안 방법
- 배기속도의 측정과정은 기본적으로 AVS 의 측정권고안 [6] 을 따랐으나, 배기성능의 상대비교라는 본 실험의 목적에 반하지 않는 범위 내에서 일부 변경된 방법을 사용하였다. 구체적인 실험과정은 다음과 같다.
- 24시간 후 온도를 낮추면서 이온펌프를 작동시키고 터보분자펌프 쪽 밸브를 차단하여 이온펌프 단독으로 배기를 시작하였다. 아래쪽 리크밸브를 조절하여 질소 주입량을 늘리면서 p과 p를 측정하여 두 진공게이지를 미리 교정하였다. 이후 포화 과정을 거치는데, 이온펌프의 포화 조건은 최대배기속도 Sn에 대해 0.
- 9X10-9 Torr 로 측정되었다. 이 상태에서 위쪽 리크 밸브를 조절하여 압력을 변화시키면서 오리피스 양쪽의 압력인 R과 P2를 각각 측정하였다.
- 따라서 적당한 세기의 전자기장에 대해 셀의 길이나 지름 등 기하학적인 요소를 최적화하는 연구가 다수 수행되었으나 [2-5], 양극 셀의 모양이 원통형에만 국한되고 다른 형태의 구체적인 배기 특성에 관한 연구는 없었다. 이에 본 연구에서는 벌집 형 셀 구조를 가지는 스퍼터 이온펌프의 특성을 예측하고, 그 배기속도를 측정하여 기존의 원통형 셀 구조와 비교하였다.
- 03 - Sn Torr I 로세6], 실험에 적용 시에는 1X10-6 Torr 에서 약 10 시간 정도 측정 기체를 배기하면 충분히 포화된다고 보지만 [7], 벌집형 구조에 대해 이렇게 측정한 결과 각각의 측정압력에서 배기속도가 시간에 따라 감소하는 경향을 보이므로 충분한 포화가 이루어지지 않았다고 판단하여, 다시 10-5 Torr ~ 10-4 Torr 의 높은 압력에서 24시간 이상 포화 과정을 거쳤다. 이온펌프가 포화된 후 리크 밸브를 잠그고 압력을 낮추어 최종도달진공도(P01,P02)를 측정하였다. 첫 번째 포화 이후 최종도달진공도 (P02)는 1.
- 측정이 완료된 후 원통형 셀 모듈로 교체하여 다시 같은 방법으로 측정하였다. 이때 벌집형 구조의 포화 시간이 과도하게 길었다고 보고, 원통형 셀에 대해서는 10-5 Torr 에서 10-4 Torr 의 압력에서 10 시간 정도로 포화시켰다.
대상 데이터
- 이를 측정하는 방법으로는 유량법과 오리피스법이 있는데[이, 여기서는 그림 1의 실험 장치와 같이 유량계 (flowmeter) 없이 진공 게이지 만으로 배기속도의 측정이 가능한 오리피스법을 선택하였다. 애벌배기를 위해 60 l/s 터보 분자 펌프와 다이어프램 펌프를 사용하였고, 지름이 8 mm 인 오리피스를 기준으로 아래, 위쪽 진공 용기에 각각 Granville-Phillips 사의 B-A 게이지(275)를 설치하였다. 측정 기체로는 고순도 질소 가스를 사용하였고 측정 장치에 주입되었을 때의 순도를 측정하기 위해 Balzers 사의 RGA(QMS200) 를 위쪽 진공 용기에 설치하였다.
- 애벌배기를 위해 60 l/s 터보 분자 펌프와 다이어프램 펌프를 사용하였고, 지름이 8 mm 인 오리피스를 기준으로 아래, 위쪽 진공 용기에 각각 Granville-Phillips 사의 B-A 게이지(275)를 설치하였다. 측정 기체로는 고순도 질소 가스를 사용하였고 측정 장치에 주입되었을 때의 순도를 측정하기 위해 Balzers 사의 RGA(QMS200) 를 위쪽 진공 용기에 설치하였다. 스퍼터 이온펌프 컨트롤러는 출력 전압이 6100 V인 Physical Electronics 의 DIGITEL 500 모델을 사용하였다.
이론/모형
- 측정 기체로는 고순도 질소 가스를 사용하였고 측정 장치에 주입되었을 때의 순도를 측정하기 위해 Balzers 사의 RGA(QMS200) 를 위쪽 진공 용기에 설치하였다. 스퍼터 이온펌프 컨트롤러는 출력 전압이 6100 V인 Physical Electronics 의 DIGITEL 500 모델을 사용하였다. 또한 장착된 자석의 자기장은 최대 1500 G 의 세기를 가진다.
- 나눈 값으로 정의된다. 이를 측정하는 방법으로는 유량법과 오리피스법이 있는데[이, 여기서는 그림 1의 실험 장치와 같이 유량계 (flowmeter) 없이 진공 게이지 만으로 배기속도의 측정이 가능한 오리피스법을 선택하였다. 애벌배기를 위해 60 l/s 터보 분자 펌프와 다이어프램 펌프를 사용하였고, 지름이 8 mm 인 오리피스를 기준으로 아래, 위쪽 진공 용기에 각각 Granville-Phillips 사의 B-A 게이지(275)를 설치하였다.
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