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제안 방법
- 의 현수무게 이다. Archimedes 방법으로 겉보기비중을 구한 후 이를 이용하여 소성된 시편의 부피를 구하고, 소성된 시편과 같은 크기의 알루미나 기판을 이용하여 소성된 시편에서 알루미나 층의 질량과 부피를 제하였다. 그 후 소성된 시편에서 순수한 스프레 이 코팅층의 질량과 부피를 구하여 밀도를 계산하였다.
- 추가하였다. SEM (Scanning Electron Microscope, JEOL JSM-6500F)을 이용하여 코팅층의 두께를 측정하고, 이를 이용하여 유전체층의 코팅 속도를 구하였다. 또한 밀도를 측정하기 위하여 겉보기 비 중을 측정하였는데 이것은 Archimedes 방법에 근거하였다.
- Archimedes 방법으로 겉보기비중을 구한 후 이를 이용하여 소성된 시편의 부피를 구하고, 소성된 시편과 같은 크기의 알루미나 기판을 이용하여 소성된 시편에서 알루미나 층의 질량과 부피를 제하였다. 그 후 소성된 시편에서 순수한 스프레 이 코팅층의 질량과 부피를 구하여 밀도를 계산하였다.
- 이 기술에서 는 기존 LTCC기술의 적층 공정 에서 사용되는 가압 공정이 없기 때문에 가압에 의한 전극 패턴의 변형을 막을 수 있는 장점이 있을 뿐만 아니라 공정의 단순화로 생산성 향상도 이룰 수 있고, 얇은 (<50 呻) 유전체 막을 얻을 수 있다. 본 실험에서 는 상용화된 LTCC용 유전체 분말을 슬러 리화 하고 스프레 이 변수와 슬러 리 점도에 따른 유전체 층의 코팅 특성과 물성을 분석하였다.
- 2 에 나타내었다. 슬러리 분사 압력이 1단계에서 4 단계로 증가할수록 슬러리의 분사되는 양은 감소하며, 슬러리의 분사는 15초 동안 이루어졌다.
- 3)를 해교제로 사용하였다. 해교제를 넣은 후에는 1시간의 교반 시간을 더 두어 해교제와 슬러리의 혼합이 잘 이루어지게 하였고, 점도계 (Viscometer DV-II+, Brookfield)를 이용하여 점도를 측정하였다. 이때 점도계는 5 rpm 하에서 2 spindle의 조건을 사용하였고, 전반적인 실험 순서를 Fig.
대상 데이터
- 본 실험에서는 주성분이 A12O3 이고, borosilicate 계통의 유리 조성이 혼합된 상용화된 LTCC 용 유전체 분말 (RN2사, RNE-8B)< 사용하여 실험을 진행하였다. 유전체 분말은 3.
- 슬러리의 제작은 LTCC용 분말과 증류수의 비율을 1:1의 비율로 섞어서 교반기 (M-TOPS, MS3040)를 사용하여 24시간 동안 교반 하였고, 필요한 점도를 맞추기 위해서는 전도성이 없는 Ammonium citrate (C6Hi4N2O7, DAEJUNG: Assay : above 97%, pH : 4.5 - 5.3)를 해교제로 사용하였다. 해교제를 넣은 후에는 1시간의 교반 시간을 더 두어 해교제와 슬러리의 혼합이 잘 이루어지게 하였고, 점도계 (Viscometer DV-II+, Brookfield)를 이용하여 점도를 측정하였다.
- 시편은 알루미나 기판 (AI2O3)과 LTCC green sheet (RNE-8B, RN2 Co.)를 사용하였고, 시편의 크기는 20x20x1 mm 이다. 스프레이 통의 압력은 2MPa로 유지하고, 점도를 맞춘 슬러리를 스프레이 통에 주입 후 스프레 이건 (Spraying System Co.
이론/모형
- SEM (Scanning Electron Microscope, JEOL JSM-6500F)을 이용하여 코팅층의 두께를 측정하고, 이를 이용하여 유전체층의 코팅 속도를 구하였다. 또한 밀도를 측정하기 위하여 겉보기 비 중을 측정하였는데 이것은 Archimedes 방법에 근거하였다. Archimedes 방법은 식 (1) 과 같다.
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