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NTIS 바로가기한국공작기계학회논문집 = Transactions of the Korean society of machine tool engineers, v.15 no.6, 2006년, pp.58 - 63
강은구 (한국생산기술연구원) , 최병열 (한국생산기술연구원 e가공공정팀) , 홍원표 (한국생산기술연구원 e가공공정팀) , 이석우 (한국생산기술연구원 e가공공정팀) , 최헌종 (한국생산기술연구원 e가공공정팀)
FIB equipment can perform sputtering and chemical vapor deposition simultaneously. It is very advantageously used to fabricate a micro structure part having 3D shape because the minimum beam size of
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