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첨단 레이저 응용 미세 접합 기술
Advanced laser micro-joining 원문보기

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.23 no.1 = no.178, 2006년, pp.23 - 31  

서정 (한국기계연구원 지능형 정밀 기계 본부 정보장비 연구센터, 레이저 공정 장비팀) ,  이제훈 (한국기계연구원 지능형 정밀 기계 본부 정보장비 연구센터, 레이저 공정 장비팀) ,  노지환 (한국기계연구원 지능형 정밀 기계 본부 정보장비 연구센터, 레이저 공정 장비팀) ,  신희원 (하나 기술(주)) ,  김도열 (하나 기술(주))

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주제어

#미세 접합   #레이저   #스폿 사이즈   #플립칩 접합  

AI 본문요약
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문제 정의

  • 연구가 진행 중이다. 따라서 본 논문에서는 레이저를 이용한 미세 접합에 영향을 주는 요인에 대해「기술하고, 현재 레이저 접합에 관한 연구를 요약 및 정리하고자 한다.
  • 본 논문에서는 레이저 미세 접합에 영향을 주는 요인에 대해 기술하고, 현재 레이저 접합의 특징 및 연구 동향에 대해 요약 및 정리였다. 특히 현재 수요가 늘어나고 있는 레이저를 이용한 플립칩 접합에 대해서도 언급하였다.
  • 또한 가공 조건에 따라서도 많은 변화가 생긴다. 이처럼 가공성에 영향을 미치는 요인들은 각각이 독립적이지 않고 종속 변수로 작용하는 경우가 일반적이며 아주 다양하므로, 레이저 마이크로 접합에 영향을 주는 요인을 살피고자 한다.
  • 연구 동향에 대해 요약 및 정리였다. 특히 현재 수요가 늘어나고 있는 레이저를 이용한 플립칩 접합에 대해서도 언급하였다.

가설 설정

  • 1. 국부 가열방식 이기 때문에 여분의 열에 의한 열적 손상을 밪지 않음.
  • 5. 장비가 고가임.
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참고문헌 (13)

  1. Ready, John E, 'LIA hand book of laser materials processing,' Laser Institute of America, p27, 2001 

  2. Kanaoka，Masaru，'레이저 가공기술 : 현장 가공 기술 지침서,' 한국산업정보센터,p89 2000 

  3. 김도훈，'레이저 가공학(개정판),' 경문사，p159 2005 

  4. 정성호，'레이저 미세가공의 원리 및 현상,' Proceedings of KIEE, Vol. 50, No.5, p.22, 2001 

  5. Hoving, Willem, 'Opportunities and challenges for laser technology in microelectronics and photonics,' Proceedings of SPIE, Vol. 4977, p.449, 2003 

    crossref

  6. Bauer, Thorsten, 'Development of an industrial femtosecondlaser micro-maching system,' Proceedings of Photonics West, 2002 

  7. Perry, M. D., 'Ultrashort-pulse laser machining of dielectric materials,' Jour. of Appl. Phys., Vol.85, No.9, p.6803, 1999 

    상세보기 crossref

  8. 세키타 히로시，'산업용 펨토초 레이저 가공기,' 월간 자동화기술 5월호，p.66，2004 

  9. 가도야 테루요시，'디스크 레이저에 의한 미세가공,' 월간 자동화기술 5 월호，p.73，2004 

  10. Gapontsev, Valentin, 'Fiber lasers,' Laser Focus World, p.83, August, 2002 

  11. 다케다 스스무，'파이버 레이저에 의한 미세 열가공,' 월간 자동화기술 5 월호 p.70，2004 

  12. Haak, John Me, 'High power diode laser fiber assisted fiber replacement of compositet structure,' Presentation of WESTEC conference, p31,2005 

  13. http://www.rofin.com/index-e.htm 

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