$\require{mediawiki-texvc}$
  • 검색어에 아래의 연산자를 사용하시면 더 정확한 검색결과를 얻을 수 있습니다.
  • 검색연산자
검색연산자 기능 검색시 예
() 우선순위가 가장 높은 연산자 예1) (나노 (기계 | machine))
공백 두 개의 검색어(식)을 모두 포함하고 있는 문서 검색 예1) (나노 기계)
예2) 나노 장영실
| 두 개의 검색어(식) 중 하나 이상 포함하고 있는 문서 검색 예1) (줄기세포 | 면역)
예2) 줄기세포 | 장영실
! NOT 이후에 있는 검색어가 포함된 문서는 제외 예1) (황금 !백금)
예2) !image
* 검색어의 *란에 0개 이상의 임의의 문자가 포함된 문서 검색 예) semi*
"" 따옴표 내의 구문과 완전히 일치하는 문서만 검색 예) "Transform and Quantization"
쳇봇 이모티콘
안녕하세요!
ScienceON 챗봇입니다.
궁금한 것은 저에게 물어봐주세요.

논문 상세정보

나노 가이드 시스템에서 초기 변위의 영향에 관한 연구

Effect of an Initial Displacement on a Nano-guiding System

Abstract

This study shows that the system performance of a positioning system composed of a piezoelectric actuator-driven flexure guide depends largely on the preload applied on the flexure guide and the driving input amplitude. We used a flexure guided system that had an original resonant frequency of 54 Hz. Our experiment showed that we could increase the driving bandwidth above the original resonant frequency, for a case involving a large preload and a small input amplitude. Results show that there is a specific 'separation frequency' where the response of the moving mass of the flexure system decouples from the response of the piezoelectric actuator, and this specific separation frequency can be selected by a proper choice of the preload and the input amplitude. To find the separation frequency, sine sweep tests were performed. To confirm the increased system bandwidth frequency, open-loop sine tracking experiments were performed. Test results show that the system responds very well up to 130 Hz frequency higher than the original natural frequency (54 Hz).

저자의 다른 논문

참고문헌 (8)

  1. Smith, S. T., 2003, Flexure: Eelements of Elastic Mechanisms, Taylor & Francis Corp, London 
  2. Yoo, W. D., Kim, J. O. and Park, K. H., 2005, 'Development of a Contact-Type Counting Device Using a Piezoelectric Film as a Sensor,' Transactions of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering, Vol. 15, No.2, pp. 239-247 
  3. Wei Xu, Tim King, 1996, 'Flexure Hinges for Piezo Actuator Displacement Amplifiers, Flexibility, Accuracy and Stress Considerations,' Precision Engineering, Vol. 19, pp. 4-10 
  4. Ryu, J. W., Gweon, D. G. and Moon, K. S., 1997, 'Optimal Design of a Flexure Hinge Based XY Wafer Stage,' Precision Engineering, Vol. 21, pp. 18-28 
  5. Ryu, J. W., Lee, S. Q., Gweon, D. G., Moon, K. S., 1999, 'Inverse Kinematic Modeling of a Coupled Flexure Hinge Mechanism,' Mechatronics, Vol. 9, pp. 657-674 
  6. Lee, D.-Y. and Lee, M. Y, 2005, 'A Flexure Guided Planar Scanner for Scanning Probe Microscope; Part l: Design and Analysis of Static and Dynamic Properties,' Transactions of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering, Vol. 15, No.6, pp. 667-673 
  7. Lee, D. - Y., Lee, M. Y. and Gweon, D. G., 2006, 'Orthogonality Correction of Planar Sample Scanner for Atomic Force Microscope,' Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 45, No. 13, pp. L370-L372 
  8. Lee, D.-Y., Kim, D. M. and Gweon, D. G., 2006, 'Design and Evaluation of a Two-dimensional Metrological AFM Using a Planar Nano-scanner,' Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 45, No. 3B, pp. 2124-2127 

이 논문을 인용한 문헌 (0)

  1. 이 논문을 인용한 문헌 없음

원문보기

원문 PDF 다운로드

  • ScienceON :

원문 URL 링크

원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다. (원문복사서비스 안내 바로 가기)

상세조회 0건 원문조회 0건

DOI 인용 스타일