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NTIS 바로가기한국소음진동공학회논문집 = Transactions of the Korean society for noise and vibration engineering, v.16 no.4 = no.109, 2006년, pp.346 - 354
이무연 ((주)LG전자, DA연구소) , 권대갑 (한국과학기술원 기계공학과) , 이동연 (한국과학기술원 기계공학과)
This study shows that the system performance of a positioning system composed of a piezoelectric actuator-driven flexure guide depends largely on the preload applied on the flexure guide and the driving input amplitude. We used a flexure guided system that had an original resonant frequency of 54 Hz...
Smith, S. T., 2003, Flexure: Eelements of Elastic Mechanisms, Taylor & Francis Corp, London
Wei Xu, Tim King, 1996, 'Flexure Hinges for Piezo Actuator Displacement Amplifiers, Flexibility, Accuracy and Stress Considerations,' Precision Engineering, Vol. 19, pp. 4-10
Ryu, J. W., Gweon, D. G. and Moon, K. S., 1997, 'Optimal Design of a Flexure Hinge Based XY Wafer Stage,' Precision Engineering, Vol. 21, pp. 18-28
Ryu, J. W., Lee, S. Q., Gweon, D. G., Moon, K. S., 1999, 'Inverse Kinematic Modeling of a Coupled Flexure Hinge Mechanism,' Mechatronics, Vol. 9, pp. 657-674
Lee, D. - Y., Lee, M. Y. and Gweon, D. G., 2006, 'Orthogonality Correction of Planar Sample Scanner for Atomic Force Microscope,' Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 45, No. 13, pp. L370-L372
Lee, D.-Y., Kim, D. M. and Gweon, D. G., 2006, 'Design and Evaluation of a Two-dimensional Metrological AFM Using a Planar Nano-scanner,' Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 45, No. 3B, pp. 2124-2127
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