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NTIS 바로가기한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.23 no.4 = no.181, 2006년, pp.52 - 59
배한성 (고등기술연구원 레이저초정밀공정팀) , 김경호 (고등기술연구원 레이저초정밀공정팀) , 문성욱 (고등기술연구원 레이저초정밀공정팀) , 남기중 (고등기술연구원 레이저초정밀공정팀) , 권남익 (한국외대 물리학과) , 김종배 (고등기술연구원 레이저초정밀공정팀)
Surface qualities of a micro-processed sample with a pulse laser have been investigated by making use of scanning confocal microscope(SCM) and atomic force microscope(AFM). Samples are bump electrodes and ITO glass of LCD module used in a mobile phone and a wafer surface scribed by UV laser. A image...
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