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NTIS 바로가기한국기계가공학회지 = Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers, v.5 no.2, 2006년, pp.22 - 26
최경현 (제주대학교 기계에너지시스템공학부) , 김창종 (제주대학교 메카트로닉스공학과 대학원) , 조수정 (제주대학교 메카트로닉스공학과 대학원)
This paper addresses the development of a laser interferometer to measure micro displacement for a micro system. The laser interferometer is able to measure micro displacement during a few micro seconds with non-contact. In order to employ the interferometer, the displacement calibration experiment ...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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미소 가공물과 그 미소 가공물을 가공하는 공작기계의 발전이 두드러지는 원인은 무엇인가? | 최근 MEMS공학의 발전으로 미소 가공물과 그 미소 가공물을 가공하는 공작기계의 발전이 두드러지고 있다. 마이크로 성형기는 이러한 미소 가공물을 만드는 공작기계들 중의 하나이다. | |
마이크로 성형기로 마이크로 홀을 성형할 때 생기는 상하, 좌우의 미세한 변위는 어떻게 여겨지는가? | 마이크로 홀을 성형할 때에는 상하, 좌우의 미세한 변위가 생길 수 있다. 이러한 미세한 변위는 전통적인 가공기에서는 무시할 수 있었으나 미세한 마이크로 홀을 뚫는 일련의 작업에서는 무시할 수 없다. | |
마이크로 성형기는 무엇인가? | 최근 MEMS공학의 발전으로 미소 가공물과 그 미소 가공물을 가공하는 공작기계의 발전이 두드러지고 있다. 마이크로 성형기는 이러한 미소 가공물을 만드는 공작기계들 중의 하나이다. 마이크로 성형기(Micro Former)는 마이크로 홀(Micro Hole)을 만드는 성형기로써 크랭크축의 회전에 의한 펀치의 직선 운동으로 마이크로 홀을 뚫는 성형기이다[1]. |
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