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문제 정의
- 다음과 같다. EL을 구성하는 박막층 전부를 투명한 박막으로 형성하여, 투명한 디스플레이로 제작한 것으로, 새로운 디자인의 개념을 추가하여 상품성을 높이고자 하였다. [그림 3]에 적층구조를 나타내었다.
- 하지만 정보 디스플레이 분야에서는 내 환경성, 고속응답, 단순공정과 같은 장점을 가지고 있음에도 불구하고, 풀컬러화 (특히 청색 재료)와 고휘도에 대한 기술적인 장벽에 부딪쳐, 더 이상의 고품위 디스플레이 시장으로의 확대는 이루어지지 않고 있다. 본 기고에서는 현재까지 개발되어 온 무기EL의 기술 개발 현황에 대하여 정리해 보고자 한다.
가설 설정
- ALD의 특징을 정리하여 보면 다음과 같은 특징을 가지고 있다. 1) 막두께의 제어가 원자레벨로 가능하다. ALD에 의한 막두께의 제어는 단순히 Deposition 사이클을 조절함에 의해서 분자층 레벨로 제어할 수 있게 된다.
- ALD에 의한 막두께의 제어는 단순히 Deposition 사이클을 조절함에 의해서 분자층 레벨로 제어할 수 있게 된다. 2) 막의 균일성이 우수하다. 3) 원료 개스의 전환에 의해 다른 종류의 적층박막 형성이 용이하다.
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