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방전 가공과 전해 가공을 이용한 미세 가공
Micro Machining by EDM and ECM 원문보기

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.23 no.10 = no.187, 2006년, pp.52 - 59  

전동훈 (S-Oil 주식회사) ,  김보현 (서울대학교 기계항공공학부) ,  주종남 (서울대학교 기계항공공학부)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Micro electrical discharge machining (EDM) and micro electrochemical machining (ECM) were studied for the fabrication of micro structures. Micro EDM has been used to machine micro structures from metals. However, since the tool wear is inevitable during the machining, the tool wear is drawback for t...

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문제 정의

  • 한편 미세 전해 가공은 가공 속도가 비교적 느린 대신에 공구 마모가 없어 정밀한 형상 가공이 가능하고 표면조도 또한 우수하다. 따라서 본 논문에서는 두 공정의 한계점을 서로 보완하기 위해서 탈이 온수를 이용한 미세방전 가공과 묽은 황산을 이용한 미세 전해 가공을 결합하여 방전/전해 복합 가공을 제안하였다. 방전/전해 복합 가공을 활용하여 미세 반 구 형상을 제작하였고 가공 속도, 형상 정밀도, 표면조도 측면에서 각각 개선된 경향을 확인하였다.
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참고문헌 (8)

  1. Masuzawa, T, Fujimoto, M. and Kobayashi, K., 'Wire Electro-Discharge Grinding for Micro Machining,' Annals of the CIRP, Vol. 34, No. 1, pp. 431-434, 1985 

  2. Yu, Z. Y, Masuzawa, T and Fujino, M., 'Micro-EDM for Three-Dimensional Cavities - Development of Uniform Wear Method,' Annals of the CIRP, Vol. 47, No.1, pp. 169-172, 1997 

  3. Schuster, R., Kirchiner, V., Allongue, P. and Etrl, G., 'Electrochemical Micromachining,' Science, Vol. 289, pp. 98-101, 2000 

  4. Masuzawa, T, Tsukanoto, J. and Fujimoto, M., 'Drilling of Deep Microholes by EDM,' Annals of the CIRP, Vol. 38, pp. 195-198, 1989 

  5. Chen, S. L., Yan, B. H. and Huang, F. Y, 'Influence of kerosene and distilled water as dielectrics on the electric discharge machining characteristics of Ti-6AI-4A,' Journal of Materials Processing Technology, Vol. 87, pp. 107-111, 1999 

  6. Ahn, S. H., Ryu, S. H., Choi, D. K. and Chu, C. N., 'Localized Electrochemical Micro Drilling Using Ultra Short Pulses,' Journal of the KSPE, Vol. 20, No.8, pp. 213-220, 2003 

  7. McGeough, J. A., 'Principles of Electrochemical Machining,' Chapman and Hall, London, 1974 

  8. Kozak, J., Rajurkar, K. P. and Makkar, Y, 'Selected problems of micro-electrochemical machining,' Journal of Materials Processing Technology, Vol. 149, pp. 426-431, 2004 

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