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Rapid Manufacturing of 3D Micro-products using UV Laser Ablation and Phase-change Filling 원문보기

International journal of precision engineering and manufacturing, v.7 no.3, 2006년, pp.56 - 59  

Shin Bo-Sung (ERC) ,  Kim Jae-Gu (Nanoprocess Group, Korea Institute of Machinery and Materials) ,  Chang Won-Suk (Nanoprocess Group, Korea Institute of Machinery and Materials) ,  Whang Kyung-Hyun (Nanoprocess Group, Korea Institute of Machinery and Materials)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

UV laser micromachining is generally used to create microstructures for micro-products through a sequence of lithography-based photo-patterning steps. However, the micromachining process is not suitable for rapid realization of complex 3D micro-products because it depends on worker experience. In ad...

주제어

#Rapid micro-manufacturing   #3D micro-products   #UV laser ablation   #Phase-change filling   #Micro-fans   #Work-holding  

AI 본문요약
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제안 방법

  • Smaller micro-products could also be fabricated using this proposed method if p이ymers more sensitive to UV laser irradiation are developed. The laser micromachining CAD/CAM program used for this study was able to control the scan-overlapping rate during the laser ablation to achieve excellent machined surfaces.

대상 데이터

  • In this study, the third harmonic wavelength of 355 nm was used to fabricate the micro-parts. The minimum spot diameter, or line width, was calculated from the numerical aperture (NA) of the optical system and the wavelength of the laser beam.
  • 1. It consisted of many optical components such as beam expanders and mirrors, measuring equipment, X-Y stages, a personal computer, a monitoring system, a laser source, and a control system. The laser source radiated a collimated coherent beam at a wavelength of 1, 064 nm in pulsed or continuous waves.
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참고문헌 (10)

  1. Dauer, S., Ehlert, A. and Buttgenbach, S., 'Rapid prototyping of micromechanical devices using a Q-switched Nd:YAG laser with optional frequency doubling,' Sensors and Actuators, Vol. 76, pp. 381-385, 1999 

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  2. Mullenborn, M., Dirac, H., Petersen, J. and Bouwstra, S., 'Fast three-dimensional laser micromachining of silicon for microsystems,' Sensors and Actuators, Vol. A 52, pp. 121-125, 1996 

  3. Gandhi, M. V., Thompson, B. S. and Mass, D. J., 'Adaptable fixture design: an analytical and experimental study of fluidized bed fixturing,' ASME Journal of Mechanisms, Transmissions and Automation in Design, Vol. 108,pp. 155-121, 1986 

  4. He, L., Namba, Y. and Narita, Y., 'Wavelength optimization for machining metals with the harmonic generation of a short pulsed Nd:YAG laser,' Precision Engineering Journal, International Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Vol. 24, pp. 245-250, 2000 

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  8. Shin, B. S., Yang, D. Y., Choi, D. S., Lee, E. S. and Whang, K. H., 'Development of rapid manufacturing process by machining with automatic filling,' Journal of the KSPE, Vol. 18, No.7, pp. 174-178,2001 

  9. Lippert, T., Dickison, J. T., Langford, S. C., Furutani, H., Fukumura, H., Masuhara, H., Kunz, T. and Wokaun, A., 'Photopolymers designed for laser ablation - photochemical ablation mechanism,' Applied Surface Science, Vol. 127-129, pp. 117-121, 1998 

    상세보기 crossref

  10. Yang, S. B., Chang, W. S., Kim, J. G., Shin, B. S. and Jeon, B. H., 'Micro channel fabrication technology using UV laser micrornachining,' Transactions of Materials Processing, Vol. 13, No.3, pp. 216-224, 2004 

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